Исследование влияния фтора на структуру и состав анодных оксидных слоев на InAs (111) | Sciact - CRIS-система Института катализа

Исследование влияния фтора на структуру и состав анодных оксидных слоев на InAs (111) Тезисы доклада

Конференция

VII Международная научно-техническая конференция INTERMATIC–2010
23-27 нояб. 2010 , Москва

Журнал

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения

Вых. Данные

Год: 2010, Том: 10, Номер: 1-2, Страницы: 204-206 Страниц : 3

Авторы

Черков А.Г. ¹ , Валишева Н.А. ¹ , Терещенко О.Е. ¹ , Гутаковский А.К. ¹ , Просвирин И.П. ² , Левцова Т.А. ¹

Организации

1	Институт Физики Полупроводников СО РАН
2	Институт Катализа СО РАН

Информация о финансировании (1)

Сибирское отделение Российской академии наук

В данной работе методом просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) изучено влияние состава электролита на атомное строение границы раздела InAs/АОС и морфологию тонких (3-5нм) АОС. Проведено сравнение с составом АОС, который исследовали методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС).

Черков А.Г. , Валишева Н.А. , Терещенко О.Е. , Гутаковский А.К. , Просвирин И.П. , Левцова Т.А.
Исследование влияния фтора на структуру и состав анодных оксидных слоев на InAs (111)
Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. 2010. Т.10. №1-2. С.204-206. РИНЦ

РИНЦ:

15858848

Пока нет цитирований