Определение примесного состава кремния (обзор) | Sciact - CRIS-система Института катализа

Определение примесного состава кремния (обзор) Научная публикация

Журнал

Аналитика и контроль
ISSN: 2073-1442 , E-ISSN: 2073-1450

Вых. Данные

Год: 2011, Том: 15, Номер: 2, Страницы: 141-150 Страниц : 10

Ключевые слова

кремний, многоэлементный анализ, концентрирование примесей, пределы обнаружения примесей.

Авторы

Шелпакова И.Р. ¹ , Шаверина А.В. ²

Организации

1	Учреждение Российской Академии Наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН 630090, г. Новосибирск, проспект акад. Лаврентьева, 3
2	Новосибирский Государственный Университет 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2

В статье представлены наиболее эффективные инструментальные методы определения примесного состава кремния в их развитии. Показана роль предварительного концентрирования примесей отгонкой основы пробы в виде тетрафторида кремния. При сопоставлении методик анализа кремния в первую очередь оценивали количество одновременно определяемых примесей, пределы их обнаружения, доступность необходимого оборудования, длительность анализа и его стоимость

Шелпакова И.Р. , Шаверина А.В.
Определение примесного состава кремния (обзор)
Аналитика и контроль. 2011. Т.15. №2. С.141-150. RSCI РИНЦ

Поступила в редакцию:

21 янв. 2011 г.

Russian Science Citation Index (RSCI):	RSCI:16364860
РИНЦ:	16364860

Пока нет цитирований