Sciact
  • EN
  • RU

Особенности формирования эмиссионных пленочных структур MgO-RuO2 методом MOCVD Научная публикация

Журнал Журнал структурной химии
ISSN: 0136-7463
Вых. Данные Год: 2019, Том: 60, Номер: 8, Страницы: 1404-1412 Страниц : 9 DOI: 10.26902/JSC_id44210
Ключевые слова химическое осаждение из газовой фазы, оксид магния, оксид рутения, пленочные наноструктуры, коэффициент вторичной электронной эмиссии
Авторы Викулова Е.С. 1 , Почтарь А.А. 2 , Морозова Н.Б. 1 , Васильева И.Г. 1
Организации
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
2 Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, Россия

Информация о финансировании (1)

1 Российский фонд фундаментальных исследований 18-08-01105 (АААА-А18-118013190035-2)

Реферат: Методом химического осаждения из газовой фазы (MOCVD) на планарных кремниевых подложках получены тонкие пленочные структуры на основе оксида магния и оксида рутения из летучих комплексов бис-(дипивалоилметанато)(N,N,N',N'-тетраметилэтилен­диамин)магний(II) и трис-(ацетилацетонато)рутений(III) в присутствии кислорода. Образцы исследованы с помощью СЭМ, ЭДС, РФА и метода дифференцирующего растворения, измерены их эмиссионные характеристики. Показаны особенности фазообразования и микроструктуры в формирующихся пленках, выявлены различные формы оксидов магния и рутения, в том числе нестехиометричные. Найдены параметры MOCVD экспериментов, при которых формируются композиционные структуры с высокими коэффициентами электрон-индуцированной вторичной электронной эмиссии (до 7.2). Такие материалы могут быть использованы как эффективные эмиссионные покрытия в современных 3D электронных умножителях.
Библиографическая ссылка: Викулова Е.С. , Почтарь А.А. , Морозова Н.Б. , Васильева И.Г.
Особенности формирования эмиссионных пленочных структур MgO-RuO2 методом MOCVD
Журнал структурной химии. 2019. Т.60. №8. С.1404-1412. DOI: 10.26902/JSC_id44210RSCI РИНЦ OpenAlex
Переводная: Vikulova E.S. , Pochtar A.A. , Morozova N.B. , Vasilyeva I.G.
Features of the MOCVD Formation of MgO−RuO2 Electron-Emitting Film Structures
Journal of Structural Chemistry. 2019. V.60. N8. P.1352-1360. DOI: 10.1134/S002247661908016X WOS Scopus РИНЦ CAPlus OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: 22 мар. 2019 г.
Принята к публикации: 8 апр. 2019 г.
Опубликована в печати: 1 авг. 2019 г.
Идентификаторы БД:
Russian Science Citation Index (RSCI): RSCI:39280458
РИНЦ: 39280458
OpenAlex: W4253070261
Цитирование в БД:
БД Цитирований
РИНЦ 1
Альметрики: