Химическое строение и функциональные свойства аморфных пленок карбонитрида бора | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Химическое строение и функциональные свойства аморфных пленок карбонитрида бора Full article

Journal

Журнал структурной химии
ISSN: 0136-7463

Output data

Year: 2021, Volume: 62, Number: 8, Pages: 1396-1412 Pages count : 17 DOI: 10.26902/JSC_id78472

Tags

карбонитрид бора, тонкие пленки, магнетронное распыление, оптические свойства, механические свойства, смачиваемость поверхности

Authors

Суляева В.С. ¹ , Гатапова Е.Я. ² , Кожевников А.К. ¹ , Рогило Д.И. ³ , Сараев А.А. ⁴ , Юшина И.В. ¹ , Хомяков М.Н. ⁵ , Шаповалова А.А. ¹ , Шаяпов В.Р. ¹ , Баскар Н. ⁶ , Ту Р. ⁷ , Косинова М.Л. ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
2	Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
3	Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
4	Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, Россия
5	Институт лазерной физики СО РАН, Новосибирск, Россия
6	Индийский институт науки, Бангалор, Индия
7	Уханьский университет технологии, Ухань, Китай

Funding (2)

1	Russian Foundation for Basic Research Department of Science and Technology	18-53-80016 (АААА-А18-118091290003-8) / DST/IMRCD/BRICS/PilotCall2/SCBCPCVD/2018
2	Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation	FWUZ-2021-0006 (121031700314-5)

Представлены результаты комплексного исследования влияния химического строения пленок карбонитрида бора на вариабельность их функциональных характеристик. Пленки BCxNy синтезированы на подложках Si(100) из кварцевого стекла методом реактивного магнетронного распыления мишени В4С в атмосфере смеси аргона с азотом. Изучено влияние содержания азота в смеси газов на скорость осаждения, элементный состав, типы химических связей и зависимости оптических (показатель преломления, коэффициент пропускания, ширина запрещенной зоны) и механических (твердость, модуль Юнга, адгезия к подложке) характеристик от параметров осаждения пленок и их химического строения. Особое внимание уделено поверхностным свойствам пленок BCxNy (морфология, шероховатость, краевой угол смачиваемости, свободная энергия поверхности). Впервые проведено исследование стабильности пленок BCxNy при их хранении в атмосфере воздуха. Выполнен сравнительный анализ полученных данных о составе, структурных особенностях и некоторых функциональных свойствах пленок BCxNy с данными из публикаций.

Суляева В.С. , Гатапова Е.Я. , Кожевников А.К. , Рогило Д.И. , Сараев А.А. , Юшина И.В. , Хомяков М.Н. , Шаповалова А.А. , Шаяпов В.Р. , Баскар Н. , Ту Р. , Косинова М.Л.
Химическое строение и функциональные свойства аморфных пленок карбонитрида бора
Журнал структурной химии. 2021. Т.62. №8. С.1396-1412. DOI: 10.26902/JSC_id78472 РИНЦ OpenAlex

Sulyaeva V.S. , Gatapova E.Y. , Kozhevnikov A.K. , Rogilo D.I. , Saraev A.A. , Yushina I.V. , Khomyakov M.N. , Shapovalova A.A. , Shayapov V.R. , Bhaskar N. , Tu R. , Kosinova M.L.
Chemical Structure and Functional Properties of Amorphous Boron Carbonitride Films
Journal of Structural Chemistry. 2021. V.62. N8. P.1309-1324. DOI: 10.1134/S0022476621080187 WOS Scopus РИНЦ AN OpenAlex

Submitted:	Mar 13, 2021
Accepted:	Apr 20, 2021
Published print:	Aug 1, 2021

Elibrary:	46506352
OpenAlex:	W3194687485

Пока нет цитирований