Sciact
  • EN
  • RU

Пленки BCNO:H, полученные методами LPCVD и PECVD из смеси пара триметиламинборана и азота Тезисы доклада

Конференция Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы «Кузнецовские чтения-2022»
11-13 июл. 2022 , Новосибирск
Сборник Программа и тезисы докладов «Шестого семинара по проблемам химического осаждения из газовой фазы»
Сборник, ИНХ СО РАН. Новосибирск.2022. 102 c. ISBN 978-5-90168-849-6.
Вых. Данные Год: 2022, Страницы: 52 Страниц : 1
Авторы Белая С.В. 1 , Максимовский Е.А. 1 , Шаяпов В.Р. 1 , Шаповалова А.А. 1 , Колодин А.Н. 1 , Каичев В.В. 2 , Асанов И.П. 1 , Хомяков М.Н. 3 , Юшина И.В. 1 , Суляева В.С. 1 , Косинова М.Л. 1
Организации
1 ИНХ СО РАН, просп. Акад. Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090
2 ИК СО РАН, просп. Акад. Лаврентьева, 5, Новосибирск, 630090
3 ИЛФ СО РАН, просп. Акад. Лаврентьева, 13/3, Новосибирск, 630090
Библиографическая ссылка: Белая С.В. , Максимовский Е.А. , Шаяпов В.Р. , Шаповалова А.А. , Колодин А.Н. , Каичев В.В. , Асанов И.П. , Хомяков М.Н. , Юшина И.В. , Суляева В.С. , Косинова М.Л.
Пленки BCNO:H, полученные методами LPCVD и PECVD из смеси пара триметиламинборана и азота
В сборнике Программа и тезисы докладов «Шестого семинара по проблемам химического осаждения из газовой фазы». – ИНХ СО РАН., 2022. – C.52. – ISBN 978-5-90168-849-6.
Идентификаторы БД: Нет идентификаторов
Цитирование в БД: Пока нет цитирований