Термодинамическое исследование летучего комплекса бензоилтрифторацетоната магния с N,N,N',N'-тетраметилэтилендиамином Full article
| Journal |
Журнал неорганической химии
ISSN: 0044-457X |
||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Output data | Year: 2023, Volume: 68, Number: 2, Pages: 167-173 Pages count : 7 DOI: 10.31857/S0044457X22601560 | ||||||
| Tags | летучие прекурсоры, фазовые превращения, дск, давление насыщенного пара, термодинамическое моделирование | ||||||
| Authors |
|
||||||
| Affiliations |
|
Funding (3)
| 1 | Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation | FWUZ-2021-0006 (121031700314-5) |
| 2 | Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation | FWUZ-2021-0005 (121031700313-8) |
| 3 | Russian Science Foundation | 21-73-00252 (121071200053-4) |
Abstract:
Для расширения библиотеки летучих прекурсоров магния, аттестованных для эффективного применения в химических газофазных процессах осаждения соответствующих оксидных или фторидных слоев, проведено термодинамическое исследование разнолигандного комплекса Mg(tmeda)(btfac)2 (tmeda = N,N,N',N'-тетраметилэтилендиамин, btfac = бензоилтрифторацетонат). Процесс плавления изучен с помощью ДСК
(Тпл = 459.4 ± 0.3 K, ΔплH∘459.4 = 42.9 ± 0.4 кДж/моль), процесс сублимации – с помощью метода потока (переноса) в интервале температур 407–447 K (ΔсублH∘427 = 163 ± ± 6 кДж/моль, ΔсублS427 = 293 ± 14 Дж/(моль K)). Вещество переходит в газовую фазу с частичным разложением. Проведено термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз, образующихся из Mg(tmeda)(btfac)2 с добавлением H2 или O2, в зависимости от температуры (700–1300 K), общего давления (133–13332 Па) и отношения газа-реагента к прекурсору (0–300). Полученные данные могут быть использованы для определения экспериментальных параметров процессов получения функциональных слоев. Сравнение результатов с аналогичным трифторацетилацетонатным комплексом позволило количественно выявить эффект замены метильной группы в анионном лиганде на фенильную.
https://sciencejournals.ru/pdf-viewer/pdf-viewer.html?j=nergkhim&y=2023&v=68&n=2&a=NergKhim2260156Vikulova
Cite:
Викулова Е.С.
, Сысоев С.В.
, Сартакова А.В.
, Рихтер Э.А.
, Рогов В.А.
, Назарова А.А.
, Зеленина Л.Н.
, Морозова Н.Б.
Термодинамическое исследование летучего комплекса бензоилтрифторацетоната магния с N,N,N',N'-тетраметилэтилендиамином
Журнал неорганической химии. 2023. Т.68. №2. С.167-173. DOI: 10.31857/S0044457X22601560 РИНЦ OpenAlex
Термодинамическое исследование летучего комплекса бензоилтрифторацетоната магния с N,N,N',N'-тетраметилэтилендиамином
Журнал неорганической химии. 2023. Т.68. №2. С.167-173. DOI: 10.31857/S0044457X22601560 РИНЦ OpenAlex
Translated:
Vikulova E.S.
, Sysoev S.V.
, Sartakova A.V.
, Rikhter Е.A.
, Rogov V.A.
, Nazarova A.A.
, Zelenina L.N.
, Morozova N.B.
Thermodynamic Study of a Volatile Complex of Magnesium Benzoyltrifluoroacetonate with N,N,N',N'-Tetramethylethylenediamine
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2023. V.68. P.133-139. DOI: 10.1134/S003602362260232X WOS Scopus РИНЦ AN OpenAlex
Thermodynamic Study of a Volatile Complex of Magnesium Benzoyltrifluoroacetonate with N,N,N',N'-Tetramethylethylenediamine
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2023. V.68. P.133-139. DOI: 10.1134/S003602362260232X WOS Scopus РИНЦ AN OpenAlex
Dates:
| Submitted: | Aug 26, 2022 |
| Accepted: | Sep 16, 2022 |
Identifiers:
| Elibrary: | 50435217 |
| OpenAlex: | W4394831179 |