Структура и кинетика диспропорционирования тонких пленок GeO
Научная публикация
| Журнал |
Физика твердого тела
ISSN: 0367-3294
|
| Вых. Данные |
Год: 2024,
Том: 66,
Номер: 9,
Страницы: 1585-1590
Страниц
: 6
DOI:
10.61011/FTT.2024.09.58784.181
|
| Ключевые слова |
монооксид германия, нанокластеры германия, модель неупорядоченной случайной сетки, реакция диспропорционирования, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, комбинационное рассеяние света, ИК-спектроскопия |
| Авторы |
Астанкова К.Н.
1
,
Кислухин Н.А.
2
,
Азаров И.А.
1,3
,
Просвирин И.П.
4
,
Володин В.А.
1,3
|
| Организации |
| 1 |
Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
|
| 2 |
Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
|
| 3 |
Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
|
| 4 |
Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, Россия
|
|
Информация о финансировании (2)
|
1
|
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (с 15 мая 2018)
|
FWGW-2022-0011 (122041400256-9)
|
|
2
|
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (с 15 мая 2018)
|
FWGW-2022-0007 (122041400246-0)
|
Объектом исследования являются тонкие пленки (∼ 10−15nm) монооксида германия, полученные методом термического испарения в вакууме композитных слоев GeO2, содержащих нанокластеры Ge, и осаждения паров GeO на холодную подложку. По данным рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии установлено, что структуру ближнего порядка пленок монооксида германия можно описать моделью неупорядоченной случайной сетки. Стехиометрический параметр x в пленках GeOx составил 1.07 ± 0.05. Данные спектроскопии комбинационного рассеяния света и инфракрасной спектроскопии свидетельствуют о разной глубине протекания процесса диспропорционирования GeO при отжиге от 5 до 30min и температуре 200−400◦C в вакууме. Отжиги продолжительностью 45min и более при тех же температурах приводили к частичному окислению аморфных кластеров Ge в матрице оксида.