Плазмохимический синтез тонких пленок карбонитрида кремния из диметил(2,2-диметилгидразино)силана | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Плазмохимический синтез тонких пленок карбонитрида кремния из диметил(2,2-диметилгидразино)силана Full article

Journal

Химия в интересах устойчивого развития
ISSN: 0869-8538

Output data

Year: 2000, Volume: 8, Number: 5, Pages: 731-738 Pages count : 8

Authors

Смирнова Т.П. ¹ , Яковкина Л.В. ¹ , Бадалян А.М. ¹ , Кичай В.Н. ¹ , Каичев В.В. ² , Бухтияров В.И. ²

Affiliations

1	Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН, проспект Академика Лаврентьева, 3, Новосибирск 630090 (Россия)
2	Институт катализа имени Г.К. Борескова Сибирского отделения РАН, проспект Академика Лаврентьева, 5, Новосибирск 630090 (Россия)

Рассмотрен экологически безопасный процесс плазмохимического осаждения тонких пленок карбонитрида кремния из нового соединения – диметил(2,2-диметилгидразино)силана (ДМДМГС), который является продуктом переработки ракетного топлива – несимметричного диметилгидразина (гептила). Изучены зависимости химического состава пленок от условий их синтеза. Продемонстрирована возможность управления характеристиками получаемых слоев изменением параметров процесса. Предложены механизмы плазмохимических и гетерофазных превращений ДМДМГС с образованием пленок карбонитрида кремния. Показано, что пленки представляют собой субстехиометричный SiNх, состоящий из неполного тетраэдра SiN, в котором часть азотных мест занята углеродом. При стабильных прочих параметрах процесса соотношение связей Si—N/Si—C в материале определяется температурой синтеза

Смирнова Т.П. , Яковкина Л.В. , Бадалян А.М. , Кичай В.Н. , Каичев В.В. , Бухтияров В.И.
Плазмохимический синтез тонких пленок карбонитрида кремния из диметил(2,2-диметилгидразино)силана
Химия в интересах устойчивого развития. 2000. Т.8. №5. С.731-738. РИНЦ ANCAN

Submitted:

Apr 25, 2000

Elibrary:	21265504
Chemical Abstracts:	2000:855850
Chemical Abstracts (print):	134:104554

DB	Citing
Elibrary	2