Структура покрытий Ir—Al2O3, полученных методом химического осаждения из паровой фазы в атмосфере водорода | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Структура покрытий Ir—Al2O3, полученных методом химического осаждения из паровой фазы в атмосфере водорода ArticleGenre_short.SHORT_COMMUNICATION

Journal

Журнал структурной химии
ISSN: 0136-7463

Output data

Year: 2009, Volume: 50, Number: 5, Pages: 955-959 Pages count : 5

Tags

ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ, ИРИДИЙ(III), АЛЮМИНИЙ(III)

Authors

Гельфонд Н.В. ¹ , Морозова Н.Б. ¹ , Игуменов И.К. ¹ , Филатов Е.С. ¹ , Громилов С.А. ¹ , Квон Р.И. ²

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск
2	Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск

Методом химического осаждения из паровой фазы получены покрытия Ir и Ir—Al2O3 с толщиной до 5 мкм и скоростью роста до 2,5 мкм/ч на стальных подложках, предварительно покрытых слоем Al2O3. В качестве исходных соединений были использованы трис-ацетилацетонаты Ir(III) и Al(III). Процесс осаждения проводили при атмосферном давлении в присутствии водорода. Полученные покрытия изучены методами рентгеновской дифракции, рентгенофотоэлектронной спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии. Установлена зависимость структуры и состава покрытий от условий их получения.

Гельфонд Н.В. , Морозова Н.Б. , Игуменов И.К. , Филатов Е.С. , Громилов С.А. , Квон Р.И.
Структура покрытий Ir—Al2O3, полученных методом химического осаждения из паровой фазы в атмосфере водорода
Журнал структурной химии. 2009. Т.50. №5. С.955-959. RSCI РИНЦ

Gelfond N.V. , Morozova N.B. , Igumenov I.K. , Filatov E.S. , Gromilov S.A. , Kvon R.I.
Structure of Ir-Al2 O3 Coatings Obtained by Chemical Vapor Deposition in the Hydrogen Atmosphere
Journal of Structural Chemistry. 2009. V.50. N5. P.919-922. DOI: 10.1007/s10947-009-0136-6 WOS Scopus РИНЦ ANCAN OpenAlex

Submitted:

Dec 15, 2008

RSCI:	RSCI:12927206
Elibrary:	12927206

DB	Citing
Elibrary	2