Sciact
  • EN
  • RU

Атомная и электронная структура оксида кремния, обработанного в водородной плазме Conference attendances

Language Русский
Participant type Устный
Conference Современная химическая физика : XXXIII симпозиум
24 Sep - 3 Oct 2021 , Туапсе
Authors Perevalov Timofey Viktorovich 1 , Gritsenko Vladimir Alekseevich 1 , Iskhakzay R.M.H. 1 , Prosvirin Igor Petrovich 2
Affiliations
1 Rzhanov Institute of Semiconductor Physics SB RAS
2 Boreskov Institute of Catalysis SB RAS
Cite: Перевалов Т.В. , Гриценко В.А. , Исхакзай Р. , Просвирин И.П.
Атомная и электронная структура оксида кремния, обработанного в водородной плазме
Современная химическая физика : XXXIII симпозиум 24 сент. - 3 окт. 2021