Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти - Доклады на конференциях | Sciact - CRIS-система Института катализа

Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Устный

Конференция

Российская конференция и школа молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света «Комбинационное рассеяние - 95 лет исследований»
05-09 июн. 2023 , Новосибирск

Авторы

Володин Владимир Алексеевич ^1,2 , Гриценко Владимир Алексеевич ^1,3 , Камаев Геннадий Николаевич ¹ , Черкова Светлана Глебовна ¹ , Азаров Иван Александрович ^1,2 , Новиков Юрий Николаевич ¹ , Гисматулин Андрей Андреевич ¹ , Просвирин Игорь Петрович ⁴

Организации

1	Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН
2	Новосибирский национальный исследовательский государственный университет
3	Новосибирский государственный технический университет
4	Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН

Володин В.А. , Гриценко В.А. , Камаев Г.Н. , Черкова С.Г. , Азаров И.А. , Новиков Ю.Н. , Гисматулин А.А. , Просвирин И.П.
Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти
Российская конференция и школа молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света «Комбинационное рассеяние - 95 лет исследований» 05-09 июн. 2023