Abstract: Предложена лабораторная методика глубокой очистки трифторида азота - лидера мировых продаж на рынке «электронных» газов. Показывает согласие в результатах анализов, проведенных методами ИК и МС. Достоинство МС состоит в простоте организации непрерывного контроля газовых смесей, в то же время, данный метод неприменим при содержании примесей < 100 ppm. ИК анализ требует более весомых затрат времени и средств, но его высокая чувствительность, < 3 ppm, гарантирует высокую точность в определении чистоты целевого продукта.

Cite: Чолач А.Р. , Яковин Д.В.
Применение методов ИК спектроскопии и масс-спектрометрии для контроля степени чистоты трифторида азота
X Всероссийская конференция «Химия фтора», приуроченная к 100-летию со дня рождения член-корреспондента АН СССР Ю.В. Гагаринского 01-05 июн. 2015