ИСП-АЭС анализ высокочистого кремния Conference attendances
| Language | Русский | ||
|---|---|---|---|
| Participant type | Стендовый | ||
| Conference |
VIII Международная конференция и VII Школа ученых и молодых специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, наноразмерных структур и приборов на его основе «КРЕМНИЙ 2011» 05-08 Jun 2011 , Москва |
||
| Authors |
|
||
| Affiliations |
|
Cite:
Сайко А.В.
, Цыганкова А.Р.
, Сапрыкин А.И.
ИСП-АЭС анализ высокочистого кремния
VIII Международная конференция и VII Школа ученых и молодых специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, наноразмерных структур и приборов на его основе «КРЕМНИЙ 2011» 05-08 июн. 2011
ИСП-АЭС анализ высокочистого кремния
VIII Международная конференция и VII Школа ученых и молодых специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, наноразмерных структур и приборов на его основе «КРЕМНИЙ 2011» 05-08 июн. 2011