Оже- и ЭСХА-профилирование пленок нитрида кремния после окисления Full article
Journal |
Доклады Академии наук СССР (до 1991 г.)
ISSN: 0002-3264 |
||||
---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 1983, Volume: 273, Number: 2, Pages: 334-336 Pages count : 3 | ||||
Authors |
|
||||
Affiliations |
|
Cite:
Ждан П.А.
, Низовский А.И.
, Ржанов А.В.
, Эдельман Ф.Л.
Оже- и ЭСХА-профилирование пленок нитрида кремния после окисления
Доклады Академии наук СССР (до 1991 г.). 1983. Т.273. №2. С.334-336. WOS РИНЦ
Оже- и ЭСХА-профилирование пленок нитрида кремния после окисления
Доклады Академии наук СССР (до 1991 г.). 1983. Т.273. №2. С.334-336. WOS РИНЦ
Dates:
Submitted: | Apr 14, 1983 |
Identifiers:
Web of science | WOS:A1983RS03200018 |
Elibrary | 30108997 |
Chemical Abstracts | 1984:94032 |
Chemical Abstracts (print) | 100:94032 |
Citing:
DB | Citing |
---|---|
Web of science | 0 |