Разработка процессов получения двух- и трехкомпонентных оксидных пленок из β-дикетонатных комплексов металлов Full article
Source | Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники Monography, Изд-во СО РАН. 2013. 176 c. ISBN 9785769212727. |
||||
---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2013, Pages: 70-96 Pages count : 27 | ||||
Authors |
|
||||
Affiliations |
|
Abstract:
В монографии представлены результаты развития процессов химического осаждения из газовой фазы металлических и диэлектрических пленок с использованием нетрадиционных летучих исходных соединений, а именно, комплексных соединений металлов и кремнийорганических соединений, синтезируемых в ИНХ СО РАН и ИрИХ СО РАН. Рассматриваются результаты исследования физико-химических свойств исходных соединений. Изложены принципы выбора исходных соединений, основанные на исследовании их термодинамических свойств и термодинамическом моделировании МО CVD процессов. Получены и исследованы наиболее важные для современной электроники и наноэлектроники материалы: Металлические пленки (Cu, Ni, Ru, Ir), диэлектрические пленки с высоким (high-k) и низким (low-k) значением диэлектрической проницаемости. Изучены химический, фазовый состав и структура простых и сложных оксидов на основе HfO2 (high-k диэлектрики), а также карбонитридов бора, карбонитридов и оксикарбонитридов кремния (low-k диэлектрики).
Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся химией твердого тела, микроэлектроникой и технологией материалов электронной техники.
Cite:
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Лебедев М.С.
, Кичай В.Н.
, Борисов В.О.
, Кривенцов В.В.
Разработка процессов получения двух- и трехкомпонентных оксидных пленок из β-дикетонатных комплексов металлов
Monography chapter Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники. – Изд-во СО РАН., 2013. – Т.37. – C.70-96. – ISBN 9785769212727.
Разработка процессов получения двух- и трехкомпонентных оксидных пленок из β-дикетонатных комплексов металлов
Monography chapter Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники. – Изд-во СО РАН., 2013. – Т.37. – C.70-96. – ISBN 9785769212727.
Identifiers:
No identifiers
Citing:
Пока нет цитирований