Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок железа, полученных методом термического испарения в вакууме Full article
Journal |
Фундаментальные проблемы современного материаловедения
ISSN: 1811-1416 |
||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2015, Volume: 12, Number: 3, Pages: 338-345 Pages count : 8 | ||||||||
Tags | ТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ, МИКРОРЕЛЬЕФ, СТРУКТУРА, ПЛЕНКА ЖЕЛЕЗА, СПЕКТРАЛЬНАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ | ||||||||
Authors |
|
||||||||
Affiliations |
|
Abstract:
В данной работе исследованы структура, микрорельеф и оптические свойства толстых, непрозрачных и тонких, полупрозрачных пленок железа, нанесенных на подложки из плавленого кварца и кремния методом термического испарения. Исследования структуры методом дифракции электронов высокой энергии на отражение показали, что поверхностный слой пленок железа является мелкокристаллическим поликристаллом железа (пр. группа симметрии Im3m) с выраженной текстурой. Кроме того, установлено присутствие очень слабой примеси кристаллов Fe 2O 3 (пр. группа симметрии Ia3). Методом атомной силовой микроскопии установлено, что поверхность пленок железа на кремнии является оптически гладкой с максимальным размером шероховатостей не превышающим 12-15 нм. Исследования оптических свойств пленок железа методом спектральной эллипсометрии позволили получить дисперсионные кривые показателя преломления, n(λ), и коэффициента поглощения, k(λ), в диапазоне длин волн λ = 250-1100 нм, как для толстых, так и для тонких пленок. Спектральные зависимости n(l) и k(l) пленок обоих типов оказались близки и качественно соответствовали типичным кривым n(l) и k(l) для металлов. Толщина полупрозрачных пленок измерялась методом лазерной эллисометрии на длине волны λ = 632,8 нм.
In the present study, the structure, microrelief and optical properties of thick nontransparent and thin semi-transparent iron films deposited onto silica and silicon substrates by thermal evaporation have been evaluated. The top surface layer of the films is a textured polycrystal, as it has been verified by RHEED. The crystals belong to pure iron phase, space group Im3m. Also, a little admixture of Fe 2O 3, space group Ia3, has been detected by RHEED. When iron is deposited onto silicon, the microleif magnitude is below 12-15 nm as it has been measured by AFM. The dispersive optical constants of thick nontransparent and thin semi-transparent iron films have been obtained over the spectral range of λ = 250-1100 nm by spectroscopic ellipsometry. The curves n(l) and k(l) found for thin and thick films are similar and possess metal type behavior. The semi-transparent iron film thickness has been measured by laser ellipsometry at λ = 632.8 nm.
Cite:
Кочубей В.А.
, Атучин В.В.
, Покровский Л.Д.
, Солдатенков И.С.
, Троицкая И.Б.
, Кожухов А.С.
, Кручинин В.Н.
Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок железа, полученных методом термического испарения в вакууме
Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2015. Т.12. №3. С.338-345. РИНЦ
Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок железа, полученных методом термического испарения в вакууме
Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2015. Т.12. №3. С.338-345. РИНЦ
Dates:
Accepted: | Aug 25, 2015 |
Identifiers:
Elibrary | 24131409 |
Citing:
DB | Citing |
---|---|
Elibrary | 1 |