Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок кобальта, полученных методом термического испарения в вакууме Full article
Journal |
Фундаментальные проблемы современного материаловедения
ISSN: 1811-1416 |
||
---|---|---|---|
Output data | Year: 2014, Volume: 11, Number: 2, Pages: 153-158 Pages count : 6 | ||
Tags | ТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ, МИКРОРЕЛЬЕФ, СТРУКТУРА, ПЛЕНКА КОБАЛЬТА, СПЕКТРАЛЬНАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ | ||
Authors |
|
||
Affiliations |
|
Abstract:
В данной работе исследованы структура, микрорельеф и оптические свойства толстых, непрозрачных пленок кобальта, нанесенных на подложки из плавленого кварца и кремния методом термического испарения. Исследования структуры методом дифракции электронов высокой энергии на отражение показали, что поверхностный слой пленок кобальта является аморфным. Методом атомной силовой микроскопии установлено, что поверхность пленок кобальта на кремнии является оптически гладкой с максимальным размером шероховатостей не превышающим 6-8 нм. Исследования оптических свойств пленок кобальта методом спектральной эллипсометрии позволили получить дисперсионные кривые показателя преломления, n(λ), и коэффициента поглощения, k(λ), в диапазоне длин волн λ = 250-1100 нм. Характер спектральных зависимостей качественно соответствует типичным кривым n(l) и k(l) для металлов. Полученные на толстых, непрозрачных пленках кобальта оптические параметры были использованы для прецизионного измерения толщины тонких, полупрозрачных пленок. Толщина полупрозрачных пленок измерялась методом лазерной эллисометрии на длине волны λ = 632,8 нм.
Cite:
Кочубей В.А.
, Атучин В.В.
, Покровский Л.Д.
, Солдатенков И.С.
, Троицкая И.Б.
, Кожухов А.С.
, Кручинин В.Н.
Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок кобальта, полученных методом термического испарения в вакууме
Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2014. Т.11. №2. С.153-158. РИНЦ
Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок кобальта, полученных методом термического испарения в вакууме
Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2014. Т.11. №2. С.153-158. РИНЦ
Dates:
Accepted: | May 20, 2014 |
Identifiers:
Elibrary | 21561075 |
Citing:
Пока нет цитирований