Исследование влияния фтора на структуру и состав анодных оксидных слоев на InAs (111) | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Исследование влияния фтора на структуру и состав анодных оксидных слоев на InAs (111) Conference Abstracts

Conference

VII Международная научно-техническая конференция INTERMATIC–2010
23-27 Nov 2010 , Москва

Journal

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения

Output data

Year: 2010, Volume: 10, Number: 1-2, Pages: 204-206 Pages count : 3

Authors

Черков А.Г. ¹ , Валишева Н.А. ¹ , Терещенко О.Е. ¹ , Гутаковский А.К. ¹ , Просвирин И.П. ² , Левцова Т.А. ¹

Affiliations

1	Институт Физики Полупроводников СО РАН
2	Институт Катализа СО РАН

Funding (1)

Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences

В данной работе методом просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) изучено влияние состава электролита на атомное строение границы раздела InAs/АОС и морфологию тонких (3-5нм) АОС. Проведено сравнение с составом АОС, который исследовали методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС).

Черков А.Г. , Валишева Н.А. , Терещенко О.Е. , Гутаковский А.К. , Просвирин И.П. , Левцова Т.А.
Исследование влияния фтора на структуру и состав анодных оксидных слоев на InAs (111)
Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. 2010. Т.10. №1-2. С.204-206. РИНЦ

Elibrary:

15858848

Пока нет цитирований