Определение примесного состава кремния (обзор) | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Определение примесного состава кремния (обзор) Full article

Journal

Аналитика и контроль
ISSN: 2073-1442 , E-ISSN: 2073-1450

Output data

Year: 2011, Volume: 15, Number: 2, Pages: 141-150 Pages count : 10

Tags

кремний, многоэлементный анализ, концентрирование примесей, пределы обнаружения примесей.

Authors

Шелпакова И.Р. ¹ , Шаверина А.В. ²

Affiliations

1	Учреждение Российской Академии Наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН 630090, г. Новосибирск, проспект акад. Лаврентьева, 3
2	Новосибирский Государственный Университет 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2

В статье представлены наиболее эффективные инструментальные методы определения примесного состава кремния в их развитии. Показана роль предварительного концентрирования примесей отгонкой основы пробы в виде тетрафторида кремния. При сопоставлении методик анализа кремния в первую очередь оценивали количество одновременно определяемых примесей, пределы их обнаружения, доступность необходимого оборудования, длительность анализа и его стоимость

Шелпакова И.Р. , Шаверина А.В.
Определение примесного состава кремния (обзор)
Аналитика и контроль. 2011. Т.15. №2. С.141-150. RSCI РИНЦ

Submitted:

Jan 21, 2011

RSCI:	RSCI:16364860
Elibrary:	16364860

Пока нет цитирований