Abstract: Методами рентгеновской дифракции, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, энергодисперсионного анализа (ЭДС) и атомно-силовой микроскопии проведено исследование химического строения, фазового состава и структуры пленок LaxHf1–xOy/Si, синтезированных из металлорганических летучих соединений Hf и La. Вариация температуры источников исходных веществ позволила синтезировать пленки с 2 < СLa < 30 ат. %. Положение пиков Hf4f и La3d в РФЭС соответствует гафнию и лантану в состояниях Hf4+ и La3+. Увеличение СLa в пленке приводит к сдвигу рефлексов на дифрактограмме в направлении меньших углов 2θ, что указывает на образование твердых растворов. Установлено, что при СLa = 18 ат. % наблюдается переход флюоритоподобной структуры пленок в структуру пирохлора (La2Hf2O7). При СLa = 30 ат. % пленки представляют смесь фаз C-La2O3 и La2Hf2O7. Шероховатость пленок возрастает с увеличением концентрации La. Из вольт-фарадных (C–V) характеристик получена зависимость диэлектрической проницаемости (k) от CLa. Минимальное значение k наблюдается при СLa, соответствующей переходу структуры флюорита к упорядоченной структуре пирохлора (фазовый переход второго рода).

Cite: Смирнова Т.П. , Яковкина Л.В. , Борисов В.О. , Кичай В.Н. , Каичев В.В. , Сараев А.А.
Синтез, химический состав и структура тонких пленок LaxHf1–xOy/Si
Неорганические материалы. 2014. Т.50. №2. С.175-182. DOI: 10.7868/S0002337X1402016X РИНЦ OpenAlex

Translated: Smirnova T.P. , Yakovkina L.V. , Borisov V.O. , Kichai V.N. , Kaichev V.V. , Saraev A.A.
Growth, Chemical Composition, and Structure of Thin LaxHf1-xOy films on Si
Inorganic Materials. 2014. V.50. N2. P.158-164. DOI: 10.1134/S0020168514020162 WOS Scopus РИНЦ ANCAN OpenAlex

Dates:

Submitted:

Aug 21, 2013

Identifiers:

Elibrary:	20991749
OpenAlex:	W2320972519

Citing: Пока нет цитирований

Altmetrics: