Синтез магнитных композитных пленок SiCxNyFez плазмохимическим разложением газовой смеси 1,1,1,3,3,3-гексаметилдисилазана, ферроцена и гелия | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Синтез магнитных композитных пленок SiCxNyFez плазмохимическим разложением газовой смеси 1,1,1,3,3,3-гексаметилдисилазана, ферроцена и гелия Full article

Journal

Журнал структурной химии
ISSN: 0136-7463

Output data

Year: 2020, Volume: 61, Number: 12, Pages: 1971-1981 Pages count : 11 DOI: 10.26902/jsc_id65932

Tags

1,1,1,3,3,3-гексаметилдисилазан, ферроцен, плазмохимическое осаждение пленок, магнитные свойства композитных пленок SiCxNyFez

Authors

Файнер Н.И. ¹ , Плеханов А.Г. ¹ , Пушкарёв Р.В. ¹ , Шаяпов В.Р. ¹ , Максимовский Е.А. ¹ , Надолинный В.А. ¹ , Коротаев Е.В. ¹ , Каичев В.В. ²

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
2	Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, Россия

Разработан новый метод получения магнитных композитных пленок сложного состава SiCxNyFez плазмохимическим разложением в ВЧ плазме газовой смеси 1,1,1,3,3,3-гексаметилдисилазана [(CH3)3Si]2NH, ферроцена (C5H5)2Fe и гелия He. Пленки различного состава получены в интервале температур осаждения 373—873 K. Установлена зависимость физико-химических и функциональных свойств пленок SiCxNyFez от условий синтеза с помощью комплекса современных методов исследования, таких как: ИК спектроскопия, КРС спектроскопия, ЭДС, РФЭС, рентгенофазовый анализ. Обнаружено, что ИК спектры содержат тот же набор связей, что и пленки карбонитрида кремния, а в спектрах КРС наблюдаются D и G моды, свидетельствующие о присутствии примеси разупорядоченного графита. Методами Фарадея и электронного парамагнитного резонанса (ЭПР) установлено, что выращенные при температурах синтеза 573—873 K пленки SiCxNyFez являются магнитными. По данным РФЭС в пленках SiCxNyFez могут присутствовать фазы α-Fe, FeSi или β-FeSi2, близость их энергий связей затрудняет определение состава пленок.

Файнер Н.И. , Плеханов А.Г. , Пушкарёв Р.В. , Шаяпов В.Р. , Максимовский Е.А. , Надолинный В.А. , Коротаев Е.В. , Каичев В.В.
Синтез магнитных композитных пленок SiCxNyFez плазмохимическим разложением газовой смеси 1,1,1,3,3,3-гексаметилдисилазана, ферроцена и гелия
Журнал структурной химии. 2020. Т.61. №12. С.1971-1981. DOI: 10.26902/jsc_id65932 РИНЦ OpenAlex

Fainer N.I. , Plekhanov A.G. , Pushkarev R.V. , Shayapov V.R. , Maksimovskiy E.A. , Nadolinny V.A. , Korotaev E.V. , Kaichev V.V.
Synthesis of Magnetic Nanocomposite Films SiCxNyFez by Plasma-Enhanced Chemical Decomposition of a Gaseous Mixture of 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane, Ferrocene, and Helium
Journal of Structural Chemistry. 2020. V.61. N12. P.1865-1875. DOI: 10.1134/S0022476620120045 WOS Scopus РИНЦ AN OpenAlex

Submitted:	May 14, 2020
Accepted:	Jun 16, 2020
Published print:	Dec 25, 2020

Elibrary:	44393489
OpenAlex:	W3194661269

Пока нет цитирований