Sciact
  • EN
  • RU

Термическая стабильность тонких аморфных пленок ZrO2/Si, полученных ионно-лучевого распыления с ассистированием Тезисы доклада

Конференция Вторая Всероссийская конференция по наноматериалам
13-16 мар. 2007 , Новосибирск
Сборник Тезисы докладов Второй Всероссийской конференции по наноматериалам (НАНО-2007). V Международный научный семинар «Наноструктурные материалы: Беларусь – Россия»
Сборник, 2007. 509 c.
Вых. Данные Год: 2007, Страницы: 103 Страниц : 1
Авторы Атучин В.В. 1 , Алиев В.Ш. 2 , Кручинин В.Н. 3 , Покровский Л.Д. 1 , Рамана С.В. 4
Организации
1 Лаборатория оптических материалов и структур, Институт физики полупроводников СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
2 Лаборатория физической химии поверхности полупроводников и систем полупроводник-диэлектрик, Институт физики полупроводников СО РАН , Новосибирск, 630090, Россия
3 Лаборатория исследования поверхности, Институт катализа СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
4 Группа наноструктурных исследований, Геологический факультет, Университет Мичигана, Анн Арбор, Мичиган 48109, США
Библиографическая ссылка: Атучин В.В. , Алиев В.Ш. , Кручинин В.Н. , Покровский Л.Д. , Рамана С.В.
Термическая стабильность тонких аморфных пленок ZrO2/Si, полученных ионно-лучевого распыления с ассистированием
В сборнике Тезисы докладов Второй Всероссийской конференции по наноматериалам (НАНО-2007). V Международный научный семинар «Наноструктурные материалы: Беларусь – Россия». 2007. – C.103.
Идентификаторы БД: Нет идентификаторов
Цитирование в БД: Пока нет цитирований