Термическая стабильность тонких аморфных пленок ZrO2/Si, полученных ионно-лучевого распыления с ассистированием Тезисы доклада
Конференция |
Вторая Всероссийская конференция по наноматериалам 13-16 мар. 2007 , Новосибирск |
||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Сборник | Тезисы докладов Второй Всероссийской конференции по наноматериалам (НАНО-2007). V Международный научный семинар «Наноструктурные материалы: Беларусь – Россия» Сборник, 2007. 509 c. |
||||||||
Вых. Данные | Год: 2007, Страницы: 103 Страниц : 1 | ||||||||
Авторы |
|
||||||||
Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Атучин В.В.
, Алиев В.Ш.
, Кручинин В.Н.
, Покровский Л.Д.
, Рамана С.В.
Термическая стабильность тонких аморфных пленок ZrO2/Si, полученных ионно-лучевого распыления с ассистированием
В сборнике Тезисы докладов Второй Всероссийской конференции по наноматериалам (НАНО-2007). V Международный научный семинар «Наноструктурные материалы: Беларусь – Россия». 2007. – C.103.
Термическая стабильность тонких аморфных пленок ZrO2/Si, полученных ионно-лучевого распыления с ассистированием
В сборнике Тезисы докладов Второй Всероссийской конференции по наноматериалам (НАНО-2007). V Международный научный семинар «Наноструктурные материалы: Беларусь – Россия». 2007. – C.103.
Идентификаторы БД:
Нет идентификаторов
Цитирование в БД:
Пока нет цитирований