Создание квазиоптических селективных элементов терагерцового диапазона в виде псевдометаллических структур посредством глубокой рентгеновской литографии | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Создание квазиоптических селективных элементов терагерцового диапазона в виде псевдометаллических структур посредством глубокой рентгеновской литографии Full article

Journal

Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
ISSN: 1028-0960 , E-ISSN: 0207-3528

Output data

Year: 2017, Number: 7, Pages: 32-42 Pages count : 11 DOI: 10.7868/s0207352817070071

Tags

глубокая рентгеновская литография, синхротронное излучение, рентгеношаблон, лазерная микрообработка (резка), псевдометаллическая структура, терагерцовое излучение, фильтр высоких частот, плоская линза

Authors

Генцелев А.Н. ¹ , Кузнецов С.А. ^1,2,3 , Баев С.Г. ⁴ , Гольденберг Б.Г. ¹ , Лоншаков Е.А. ^2,4

Affiliations

1	Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
2	Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
3	Филиал Института физики полупроводников СО РАН “Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники”, 630090 Новосибирск, Россия
4	Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия

Изложена методика изготовления самонесущих псевдометаллических структур, перспективных для использования в качестве квазиоптических частотно-селективных элементов в терагерцовом диапазоне частот электромагнитного спектра. Методика основана на микроструктурировании сплошного диэлектрического слоя посредством трафаретной рентгеновской литографии с использованием синхротронного излучения с последующей металлизацией всей поверхности структуры. Описаны основные технологические схемы, включая производство исходных подложек и рентгеношаблонов. Приведены примеры образцов изготовленных селективных элементов, таких как частотные фильтры и плоские линзы, а также представлены их операционные характеристики.

Генцелев А.Н. , Кузнецов С.А. , Баев С.Г. , Гольденберг Б.Г. , Лоншаков Е.А.
Создание квазиоптических селективных элементов терагерцового диапазона в виде псевдометаллических структур посредством глубокой рентгеновской литографии
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2017. №7. С.32-42. DOI: 10.7868/s0207352817070071 РИНЦ OpenAlex

Gentselev A.N. , Kuznetsov S.A. , Baev S.G. , Goldenberg B.G. , Lonshakov E.A.
Fabrication of Quasi-Optical Selective Elements for the Terahertz Range in the Form of Pseudometallic Structures Via Deep X-ray Lithography
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2017. V.11. N4. P.710–720. DOI: 10.1134/S1027451017040073 WOS Scopus РИНЦ ANCAN OpenAlex

Submitted:	Nov 9, 2016
Published print:	Jul 1, 2017

Elibrary:	29424022
OpenAlex:	W2792265565

Пока нет цитирований