Abstract: Описаны конструкция и способ изготовления высококонтрастных в рентгеновском спектральном поддиапазоне коротких длин волн (λ ~2,5-5 Å) рентгеношаблонов, являющихся инструментом для формирования резистивных масок толщиной до ~250 мкм из негативных и до ~1 мм из позитивных резистов. Данные рентгеношаблоны могут быть также использованы в поддиапазоне средних длин волн (8-10 Å) и в качестве переходных шаблонов при изготовлении LIGA-шаблонов, применяемых в поддиапазоне ультракоротких длин волн (0,5-3 Å). Способ изготовления базируется на кремниевой планарной технологии. Были изготовлены два вида шаблонов с преимущественно алюминиевой мембраной. Проведенная работа показывает, что, базируясь на данной технологии, можно изготавливать рентгеношаблоны и LIGA-шаблоны со слоистыми несущими мембранами, выполненными из слоёв сравнительно легких материалов типа титана, алюминия, кремния и т. п., толщины которых могут варьироваться в зависимости от предназначения шаблона.

Cite: Генцелев А.Н. , Гольденберг Б.Г. , Лемзяков А.Г.
Рентгеношаблоны с многослойной несущей мембраной
Прикладная физика. 2020. №5. С.109-115. РИНЦ

Dates:

Submitted:

Mar 3, 2020

Identifiers:

Elibrary:

44185830

Citing: Пока нет цитирований