Пленки BCNO:H, полученные методами LPCVD и PECVD из смеси пара триметиламинборана и азота | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Пленки BCNO:H, полученные методами LPCVD и PECVD из смеси пара триметиламинборана и азота Conference Abstracts

Conference

Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы «Кузнецовские чтения-2022»
11-13 Jul 2022 , Новосибирск

Source

Программа и тезисы докладов «Шестого семинара по проблемам химического осаждения из газовой фазы»
Compilation, ИНХ СО РАН. Новосибирск.2022. 102 c. ISBN 978-5-90168-849-6.

Output data

Year: 2022, Pages: 52 Pages count : 1

Authors

Белая С.В. ¹ , Максимовский Е.А. ¹ , Шаяпов В.Р. ¹ , Шаповалова А.А. ¹ , Колодин А.Н. ¹ , Каичев В.В. ² , Асанов И.П. ¹ , Хомяков М.Н. ³ , Юшина И.В. ¹ , Суляева В.С. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Affiliations

1	ИНХ СО РАН, просп. Акад. Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090
2	ИК СО РАН, просп. Акад. Лаврентьева, 5, Новосибирск, 630090
3	ИЛФ СО РАН, просп. Акад. Лаврентьева, 13/3, Новосибирск, 630090

Белая С.В. , Максимовский Е.А. , Шаяпов В.Р. , Шаповалова А.А. , Колодин А.Н. , Каичев В.В. , Асанов И.П. , Хомяков М.Н. , Юшина И.В. , Суляева В.С. , Косинова М.Л.
Пленки BCNO:H, полученные методами LPCVD и PECVD из смеси пара триметиламинборана и азота
In compilation Программа и тезисы докладов «Шестого семинара по проблемам химического осаждения из газовой фазы». – ИНХ СО РАН., 2022. – C.52. – ISBN 978-5-90168-849-6.

No identifiers

Пока нет цитирований