Станция рентгено-лучевых технологий (X-TECHNO) | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Станция рентгено-лучевых технологий (X-TECHNO) Full article

Source

Технологическая инфраструктура Сибирского кольцевого источника фотонов «СКИФ». Том 3. Устройства генерации и фронтенды, системы управления и ИТ-обеспечения экспериментальных станций первой очереди; предварительные проекты экспериментальных станций второй очереди
Compilation, ИК СО РАН. Новосибирск.2022. 332 c. ISBN 9785906376435. РИНЦ

Output data

Year: 2022, Volume: 3, Article number : 3-14, Pages count : 10

Tags

радиационная химия, рентгенолитография, радиационная модификация материалов, LIGA - технология, МEМС– структуры

Authors

Назьмов В.П. ¹ , Гольденберг Б.Г. ^1,2

Affiliations

1	ИЯФ СО РАН им. Г.И. Будкера СО РАН, пр. Лаврентьева, 11, 630090, Новосибирск
2	ЦКП "СКИФ" ИК СО РАН им. Г.К. Борескова, Никольский пр., 1, 630559, Кольцово

Описывается станция для проведения исследований физико-химических свойств материалов под действием рентгеновского излучения в спектральном диапазоне от 2 до 70 кэВ в пучке шириной до 100 мм, что является фундаментом разработки и изготовления с использованием станции микроизделий с пространственным субмикронным разрешением малыми партиями. Для более полной реализации возможностей станции разрабатывается набор дополняющих технологических операций.

Назьмов В.П. , Гольденберг Б.Г.
Станция рентгено-лучевых технологий (X-TECHNO)
In compilation Технологическая инфраструктура Сибирского кольцевого источника фотонов «СКИФ». Том 3. Устройства генерации и фронтенды, системы управления и ИТ-обеспечения экспериментальных станций первой очереди; предварительные проекты экспериментальных станций второй очереди. – ИК СО РАН., 2022. – Т.3. – C.256-265. – ISBN 9785906376435. РИНЦ

Elibrary:

49276645

Пока нет цитирований