Состав и оптические свойства аморфного плазмохимического оксинитрида кремния переменного состава a-SiOxNy : H | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Состав и оптические свойства аморфного плазмохимического оксинитрида кремния переменного состава a-SiOxNy : H Full article

Journal

Журнал технической физики
ISSN: 0044-4642

Output data

Year: 2023, Volume: 93, Number: 4, Pages: 575-582 Pages count : 8 DOI: 10.21883/jtf.2023.04.55047.167-22

Tags

оксинитрид кремния, плазмохимическое осаждение, стехиометрический состав, нанокластеры кремния, silicon oxynitride, plasma-chemical deposition, stoichiometric composition, si nanoclusters

Authors

Володин В.А. ^1,2 , Камаев Г.Н. ¹ , Гриценко В.А. ^1,3 , Черкова С.Г. ¹ , Просвирин И.П. ⁴

Affiliations

1	Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
2	Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
3	Новосибирский государственный технический университет, 630073 Новосибирск, Россия
4	Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия

Funding (1)

Russian Science Foundation

22-19-00369

Пленки a-SiOxNy : H различного состава были получены методом плазмохимического осаждения из газовой смеси 10% моносилана (разбавлен аргоном) и азота в присутствии остаточного кислорода в рабочих газовых смесях. Расход азота изменялся в диапазоне от 4 до 6 cm3/min, мощность генератора высокой частоты (13.56 MHz) изменялась в диапазоне 50-150 W. Электронная структура и оптические свойства пленок были исследованы с применением рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, колебательной спектроскопии, спектроскопии пропускания и отражения и спектральной эллипсометрии. Показано, что при уменьшении мощности генератора повышается содержание избыточного кремния в пленках и возникают нанокластеры аморфного кремния. С увеличением мощности генератора в пленках снижается концентрация кислорода, что позволяет управлять составом пленок a-SiOxNy : H не только изменяя поток азота, но и варьируя мощность генератора

Володин В.А. , Камаев Г.Н. , Гриценко В.А. , Черкова С.Г. , Просвирин И.П.
Состав и оптические свойства аморфного плазмохимического оксинитрида кремния переменного состава a-SiOxNy : H
Журнал технической физики. 2023. Т.93. №4. С.575-582. DOI: 10.21883/jtf.2023.04.55047.167-22 РИНЦ OpenAlex

Volodin V.A. , Kamaev G.N. , Gritsenko V.A. , Chepkova S.G. , Prosvirin I.P.
Composition and Optical Properties of Amorphous Plasma-Chemical Silicon Oxynitride of Variable Composition α-SiOxNy : H
Technical Physics. 2023. V.68. N4. P.538-545. DOI: 10.21883/tp.2023.04.55947.167-22 РИНЦ OpenAlex

Submitted:	Jun 23, 2022
Accepted:	Feb 2, 2023
Published online:	Mar 21, 2023

Elibrary:	53935268
OpenAlex:	W4328010590

DB	Citing
Elibrary	2