Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов Conference Abstracts

Conference

VII Международная научно-техническая конференция «Радиотехника, электроника и связь»
04-04 Oct 2023 , Омск

Source

Радиотехника, электроника и связь [Электронный ресурс] : тезисы докладов VII Международной научно-технической конференции (Омск, 4–6 октября 2023 года).
Compilation, ОНИИП. Омск.2023. 322 c. ISBN 978-5-6046517-7-3. РИНЦ

Output data

Year: 2023,

Tags

нитрид алюминия, AlN/Al, магнетронное распыление, пьезоактивные материалы; aluminum nitride, AlN/Al, magnetron sputtering, piezo active materials

Authors

Богословцева А.Л. ¹ , Капишников А.В. ^1,2 , Гейдт П.В. ¹

Affiliations

1	Лаборатория функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники, Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Российская Федерация
2	Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, Российская Федерация

Funding (1)

Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation

FSUS-2020-0029

Исследованы слои AlN/Al, осажденные на кремниевой подложке методом импульсного магнетронного распыления постоянного тока. Показано, что температура напыления слоя алюминия влияет на структуру осаждаемого на него слоя нитрида алюминия. Осаждение алюминия на кремний без нагрева подложки позволяет осаждать на нем хорошо текстурированный нитрид алюминия

Богословцева А.Л. , Капишников А.В. , Гейдт П.В.
Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов
In compilation Радиотехника, электроника и связь [Электронный ресурс] : тезисы докладов VII Международной научно-технической конференции (Омск, 4–6 октября 2023 года).. – ОНИИП., 2023. – ISBN 978-5-6046517-7-3. РИНЦ

Elibrary:

59994727

Пока нет цитирований