Структура и кинетика диспропорционирования тонких пленок GeO | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Структура и кинетика диспропорционирования тонких пленок GeO Full article

Journal

Физика твердого тела
ISSN: 0367-3294

Output data

Year: 2024, Volume: 66, Number: 9, Pages: 1585-1590 Pages count : 6 DOI: 10.61011/FTT.2024.09.58784.181

Tags

монооксид германия, нанокластеры германия, модель неупорядоченной случайной сетки, реакция диспропорционирования, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, комбинационное рассеяние света, ИК-спектроскопия

Authors

Астанкова К.Н. ¹ , Кислухин Н.А. ² , Азаров И.А. ^1,3 , Просвирин И.П. ⁴ , Володин В.А. ^1,3

Affiliations

1	Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
2	Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
3	Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
4	Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, Россия

Funding (2)

1	Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation	FWGW-2022-0011 (122041400256-9)
2	Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation	FWGW-2022-0007 (122041400246-0)

Объектом исследования являются тонкие пленки (∼ 10−15nm) монооксида германия, полученные методом термического испарения в вакууме композитных слоев GeO2, содержащих нанокластеры Ge, и осаждения паров GeO на холодную подложку. По данным рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии установлено, что структуру ближнего порядка пленок монооксида германия можно описать моделью неупорядоченной случайной сетки. Стехиометрический параметр x в пленках GeOx составил 1.07 ± 0.05. Данные спектроскопии комбинационного рассеяния света и инфракрасной спектроскопии свидетельствуют о разной глубине протекания процесса диспропорционирования GeO при отжиге от 5 до 30min и температуре 200−400◦C в вакууме. Отжиги продолжительностью 45min и более при тех же температурах приводили к частичному окислению аморфных кластеров Ge в матрице оксида.

Астанкова К.Н. , Кислухин Н.А. , Азаров И.А. , Просвирин И.П. , Володин В.А.
Структура и кинетика диспропорционирования тонких пленок GeO
Физика твердого тела. 2024. Т.66. №9. С.1585-1590. DOI: 10.61011/FTT.2024.09.58784.181 РИНЦ

Submitted:	Jul 8, 2024
Accepted:	Jul 10, 2024
Published print:	Sep 10, 2024

Elibrary:

79723844

Пока нет цитирований