Влияние условий осаждения слоев в импульсном MO CVD методе на характеристики пленок HfO2 - Conference attendances | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Влияние условий осаждения слоев в импульсном MO CVD методе на характеристики пленок HfO2 Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

Conference

Третий семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
23-27 Jun 2013 , Иркутск

Authors

Shevtsov Yurii Vladimirovich ¹ , Vasilʹeva Inga Grigorʹevna ¹ , Pochtarʹ Alena A. ² , Kuchumov Boris Maksimovich ¹ , Igumenov Igorʹ Konstantinovich ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry SB RAS
2	Boreskov Institute of Catalysis SB RAS

Шевцов Ю.В. , Васильева И.Г. , Почтарь А.А. , Кучумов Б.М. , Игуменов И.К.
Влияние условий осаждения слоев в импульсном MO CVD методе на характеристики пленок HfO2
Третий семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 23-27 июн. 2013