Способ очистки трифторида азота от примеси тетрафторида углерода
Patents
| Language: |
Русский |
| Type: |
Invention |
| Number |
RU 2744357 C1 |
| Request number: |
2020123306 |
| Request date: |
Jul 14, 2020 |
| patent.field.start_date: |
Jul 14, 2020 |
| Registration date: |
Mar 5, 2021 |
| patent.field.request_publication_date: |
|
| Authors |
Чолач А.Р.
,
Яковин Д.В.
|
| Affiliations |
| 1 |
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Федеральный исследовательский центр «Институт катализа им. Г.К. Борескова Сибирского отделения Российской академии наук» (Институт катализа СО РАН, ИК СО РАН)
|
|
Изобретение может быть использовано при получении трифторида азота NF3, применяемого в производстве жидкокристаллических дисплеев, микропроцессоров. Способ очистки трифторида азота от тетрафторида углерода CF4 включает фракционную конденсацию трифторида азота и последовательность циклов установления равновесия в криостате при температуре равновесного давления тетрафторида углерода, превышающего парциальное давление тетрафторида углерода в рабочей смеси. Осуществляют откачку газовой фазы, обогащенной тетрафторидом углерода, и последующую криогенную дистилляцию конденсата. Число циклов очистки определяется исходным содержанием тетрафторида углерода и требуемой чистотой трифторида азота. Изобретение позволяет повысить степень очистки трифторида азота до 99,99 % при крупномасштабном производстве NF3, минимизировать потерю целевого продукта, исключить регенерацию расходных материалов и необходимость использования коррозионно-стойкого оборудования.
FIELD: chemistry.
SUBSTANCE: invention can be used to obtain nitrogen trifluoride NF3 used in the production of liquid crystal displays, microprocessors. A method for purifying nitrogen trifluoride from carbon tetrafluoride CF4 includes fractional condensation of nitrogen trifluoride and a sequence of cycles of equilibration in a cryostat at a temperature of the equilibrium pressure of carbon tetrafluoride exceeding the partial pressure of carbon tetrafluoride in the working mixture. The gas phase enriched in carbon tetrafluoride is evacuated, followed by cryogenic distillation of the condensate. The number of cleaning cycles is determined by the initial content of carbon tetrafluoride and the required purity of nitrogen trifluoride.
EFFECT: invention makes it possible to increase the degree of purification of nitrogen trifluoride up to 99.99 % for large-scale production of NF3, to minimize the loss of the target product, to exclude the regeneration of consumables and the need to use corrosion-resistant equipment.