Deposition and Characterization of Alternative Dielectrics on the HfO2 Base for Nanoelectronics of New Generation Тезисы доклада
Конференция |
I Международный форум по нанотехнологиям 04-05 дек. 2008 , Москва |
||||
---|---|---|---|---|---|
Сборник | Rusnanotech-2008. Nanotechnology International Forum. Abstracts. Scientific and Technological Sections. Volume 1, 2 Сборник, RUSNANO. Moscow.2008. |
||||
Вых. Данные | Год: 2008, Том: 1, Страницы: 60-62 Страниц : 2 | ||||
Авторы |
|
||||
Организации |
|
Информация о финансировании (1)
1 | Совет по грантам Президента Российской Федерации | НШ-636.2008.3 |
Библиографическая ссылка:
Smirnova T.P.
, Kuznetsov F.A.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Kosyakov V.I.
, Lebedev M.S.
, Kichai V.N.
Deposition and Characterization of Alternative Dielectrics on the HfO2 Base for Nanoelectronics of New Generation
В сборнике Rusnanotech-2008. Nanotechnology International Forum. Abstracts. Scientific and Technological Sections. Volume 1, 2. – RUSNANO., 2008. – C.60-62.
Deposition and Characterization of Alternative Dielectrics on the HfO2 Base for Nanoelectronics of New Generation
В сборнике Rusnanotech-2008. Nanotechnology International Forum. Abstracts. Scientific and Technological Sections. Volume 1, 2. – RUSNANO., 2008. – C.60-62.
Переводная:
Смирнова Т.П.
, Кузнецов Ф.А.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Косяков В.И.
, Лебедев М.С.
, Кичай В.Н.
Получение и характеризация альтернативных диэлектриков на основе HfO2 для наноэлектроники нового поколения
В сборнике Международный форум по нанотехнологиям: Сб. тез. докл. участников Международного конкурса научных работ молодых ученых в области нанотехнологий, 3-5 декабря 2008 г.. 2008.
Получение и характеризация альтернативных диэлектриков на основе HfO2 для наноэлектроники нового поколения
В сборнике Международный форум по нанотехнологиям: Сб. тез. докл. участников Международного конкурса научных работ молодых ученых в области нанотехнологий, 3-5 декабря 2008 г.. 2008.
Идентификаторы БД:
Нет идентификаторов
Цитирование в БД:
Пока нет цитирований