Плазмохимический синтез тонких пленок карбонитрида кремния из диметил(2,2-диметилгидразино)силана Научная публикация
Журнал |
Химия в интересах устойчивого развития
ISSN: 0869-8538 |
||||
---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2000, Том: 8, Номер: 5, Страницы: 731-738 Страниц : 8 | ||||
Авторы |
|
||||
Организации |
|
Реферат:
Рассмотрен экологически безопасный процесс плазмохимического осаждения тонких пленок карбонитрида кремния из нового соединения – диметил(2,2-диметилгидразино)силана (ДМДМГС), который является продуктом переработки ракетного топлива – несимметричного диметилгидразина (гептила). Изучены зависимости химического состава пленок от условий их синтеза. Продемонстрирована возможность управления характеристиками получаемых слоев изменением параметров процесса. Предложены механизмы плазмохимических и гетерофазных превращений ДМДМГС с образованием пленок карбонитрида кремния. Показано, что пленки представляют собой субстехиометричный SiNх, состоящий из неполного тетраэдра SiN, в котором часть азотных мест занята углеродом. При стабильных прочих параметрах процесса соотношение связей Si—N/Si—C в материале определяется температурой синтеза
Библиографическая ссылка:
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Бадалян А.М.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Бухтияров В.И.
Плазмохимический синтез тонких пленок карбонитрида кремния из диметил(2,2-диметилгидразино)силана
Химия в интересах устойчивого развития. 2000. Т.8. №5. С.731-738. РИНЦ
Плазмохимический синтез тонких пленок карбонитрида кремния из диметил(2,2-диметилгидразино)силана
Химия в интересах устойчивого развития. 2000. Т.8. №5. С.731-738. РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: | 25 апр. 2000 г. |
Идентификаторы БД:
РИНЦ | 21265504 |
Chemical Abstracts | 2000:855850 |
Chemical Abstracts (print) | 134:104554 |
Цитирование в БД:
БД | Цитирований |
---|---|
РИНЦ | 2 |