Химический состав и оптические свойства нестехиометрических тонких пленок ZrOx, полученных методом ионно-лучевого распыления-осаждения Доклады на конференциях
Язык | Русский | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Тип доклада | Устный | ||||||
Конференция |
Международная научно-техническая конференция «INTERMATIC – 2017» 20-24 нояб. 2017 , Москва |
||||||
Авторы |
|
||||||
Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Кручинин В.Н.
, Алиев В.Ш.
, Герасимова А.К.
, Гриценко В.А.
, Просвирин И.П.
, Рыхлицкий С.В.
Химический состав и оптические свойства нестехиометрических тонких пленок ZrOx, полученных методом ионно-лучевого распыления-осаждения
Международная научно-техническая конференция «INTERMATIC – 2017» 20-24 нояб. 2017
Химический состав и оптические свойства нестехиометрических тонких пленок ZrOx, полученных методом ионно-лучевого распыления-осаждения
Международная научно-техническая конференция «INTERMATIC – 2017» 20-24 нояб. 2017