Состав и структура пленок, синтезированных из силильных производных несимметричного диметилгидразина Full article
Journal |
Неорганические материалы
ISSN: 0002-337X |
||||
---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2003, Volume: 39, Number: 2, Pages: 163-169 Pages count : 7 | ||||
Authors |
|
||||
Affiliations |
|
Abstract:
Пленки синтезированы методом плазмохимического осаждения из газовой фазы с удаленной плазмой из силильных производных несимметричного диметилгидразина. Свойства полученных образцов исследованы с помощью оптической и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Микроструктура пленок изучена методами сканирующей электронной микроскопии и дифракции синхротронного излучения. Установлено, что связи Si-N и Si-C являются основными в пленках, синтезированных в системе с активированным водородом, в то время как связи Si-N и C-N превалируют в пленках, полученных в системе с активированным гелием. Карбонитрид кремния в синтезированных пленках представляет собой смесь аморфной и кристаллической фаз. Последняя при индицировании дифрактограмм отнесена к тетрагональной структуре с параметрами решетки a = 9.6 и c = 6.4 А. Появление кристаллов в аморфной матрице и их форма не зависят от температуры синтеза. Это дает основания предполагать, что кристаллизация инициируется в газовой фазе или напряжениями, возрастающими по мере увеличения толщины пленки.
Cite:
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Яковкина Л.В.
, Шмаков А.Н.
, Асанов И.П.
, Борисов В.О.
Состав и структура пленок, синтезированных из силильных производных несимметричного диметилгидразина
Неорганические материалы. 2003. Т.39. №2. С.163-169. РИНЦ
Состав и структура пленок, синтезированных из силильных производных несимметричного диметилгидразина
Неорганические материалы. 2003. Т.39. №2. С.163-169. РИНЦ
Translated:
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Yakovkina L.V.
, Shmakov A.N.
, Asanov I.P.
, Borisov V.O.
Composition and Structure of Films Deposited from Silyl Derivatives of Asymmetrical Dimethylhydrazine
Inorganic Materials. 2003. V.39. N2. P.117-122. DOI: 10.1023/A:1022186310997 WOS Scopus РИНЦ
Composition and Structure of Films Deposited from Silyl Derivatives of Asymmetrical Dimethylhydrazine
Inorganic Materials. 2003. V.39. N2. P.117-122. DOI: 10.1023/A:1022186310997 WOS Scopus РИНЦ
Dates:
Submitted: | Mar 25, 2002 |
Published print: | Feb 1, 2003 |
Identifiers:
Elibrary | 17286884 |
Citing:
DB | Citing |
---|---|
Elibrary | 1 |