Sciact
  • EN
  • RU

Пленки оксидов тербия, полученные химическим осаждением из паров трис-дипивалоилметаната тербия Научная публикация

Журнал Неорганические материалы
ISSN: 0002-337X
Вых. Данные Год: 2014, Том: 50, Номер: 4, Страницы: 410-417 Страниц : 8 DOI: 10.7868/S0002337X14040034
Авторы Белая С.В. 1 , Баковец В.В. 1 , Боронин А.И. 2 , Кощеев С.В. 2 , Лобзарева М.Н. 1 , Корольков И.В. 1 , Стабников П.А. 1
Организации
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО Российской академии наук, Новосибирск
2 Институт катализа им. Г.К. Борескова СО Российской академии наук, Новосибирск

Реферат: Пленки оксида тербия получены на подложках Si (111) разложением паров Tb(dpm)3 в токе аргона при температурах Tb(dpm)3 170 и 190°C и температурах подложек 470–550°C. Отжиг пленок проводили на воздухе при температурах 400, 650 и 800°C. Методом РФА установлено, что пленки, полученные методом химического осаждения из газовой фазы, состоят из кубического оксида Tb2O3, пленки, отожженные на воздухе при 650 и 800°C, имеют структуру оксида Tb4 O7, при 400°C – Tb2O3. Согласно данным РФЭС, поверхностный слой пленки Tb11 O20 толщиной 9 нм имеет правильное отношение O : Tb = 1.48, а у пленки, отожженной при 800°C, O : Tb = 1.85. По данным КР спектроскопии, концентрация углеродсодержащих фрагментов на поверхности пленок уменьшается с понижением температуры подложки, а отжиг при 800°C на воздухе позволяет полностью от них избавиться.
Библиографическая ссылка: Белая С.В. , Баковец В.В. , Боронин А.И. , Кощеев С.В. , Лобзарева М.Н. , Корольков И.В. , Стабников П.А.
Пленки оксидов тербия, полученные химическим осаждением из паров трис-дипивалоилметаната тербия
Неорганические материалы. 2014. Т.50. №4. С.410-417. DOI: 10.7868/S0002337X14040034 РИНЦ OpenAlex
Переводная: Belaya S.V. , Bakovets V.V. , Boronin A.I. , Koshcheev S.V. , Lobzareva M.N. , Korolkov I.V. , Stabnikov P.A.
Terbium Oxide Films Grown by Chemical Vapor Deposition from Terbium(III) Dipivaloylmethanate
Inorganic Materials. 2014. V.50. N4. P.379-386. DOI: 10.1134/S0020168514040037 WOS Scopus РИНЦ CAPlusCA OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: 16 авг. 2013 г.
Идентификаторы БД:
РИНЦ: 21258910
OpenAlex: W2333333370
Цитирование в БД:
БД Цитирований
РИНЦ 4
Альметрики: