Sciact
  • EN
  • RU

Оже- и ЭСХА-профилирование пленок нитрида кремния после окисления Научная публикация

Журнал Доклады Академии наук СССР (до 1991 г.)
ISSN: 0002-3264
Вых. Данные Год: 1983, Том: 273, Номер: 2, Страницы: 334-336 Страниц : 3
Авторы Ждан П.А. , Низовский А.И. , Ржанов А.В. , Эдельман Ф.Л.
Организации
1 Институт катализа Сибирского отделения Академии наук СССР, Новосибирск
2 Институт физики полупроводников Сибирского отделения Академии наук СССР, Новосибирск
Библиографическая ссылка: Ждан П.А. , Низовский А.И. , Ржанов А.В. , Эдельман Ф.Л.
Оже- и ЭСХА-профилирование пленок нитрида кремния после окисления
Доклады Академии наук СССР (до 1991 г.). 1983. Т.273. №2. С.334-336. WOS РИНЦ CAPlusCA
Даты:
Поступила в редакцию: 14 апр. 1983 г.
Идентификаторы БД:
Web of science: WOS:A1983RS03200018
РИНЦ: 30108997
Chemical Abstracts: 1984:94032
Chemical Abstracts (print): 100:94032
Цитирование в БД:
БД Цитирований
Web of science 0