Оже- и ЭСХА-профилирование пленок нитрида кремния после окисления | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Оже- и ЭСХА-профилирование пленок нитрида кремния после окисления Full article

Journal

Доклады Академии наук СССР (до 1991 г.)
ISSN: 0002-3264

Output data

Year: 1983, Volume: 273, Number: 2, Pages: 334-336 Pages count : 3

Authors

Ждан П.А. , Низовский А.И. , Ржанов А.В. , Эдельман Ф.Л.

Affiliations

1	Институт катализа Сибирского отделения Академии наук СССР, Новосибирск
2	Институт физики полупроводников Сибирского отделения Академии наук СССР, Новосибирск

Ждан П.А. , Низовский А.И. , Ржанов А.В. , Эдельман Ф.Л.
Оже- и ЭСХА-профилирование пленок нитрида кремния после окисления
Доклады Академии наук СССР (до 1991 г.). 1983. Т.273. №2. С.334-336. WOS РИНЦ ANCAN

Submitted:

Apr 14, 1983

Web of science:	WOS:A1983RS03200018
Elibrary:	30108997
Chemical Abstracts:	1984:94032
Chemical Abstracts (print):	100:94032

DB	Citing
Web of science	0