Структура нанокристаллических покрытий Ti-Al-N | Sciact - CRIS-система Института катализа

Структура нанокристаллических покрытий Ti-Al-N Научная публикация

Журнал

Известия высших учебных заведений. Физика
ISSN: 0021-3411

Вых. Данные

Год: 2013, Том: 56, Номер: 11-3, Страницы: 39-42 Страниц : 4

Ключевые слова

ТИТАН, НИТРИД ТИТАНА НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ, XAFS-СПЕКТРОСКОПИЯ С СИНХРОТРОННЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ

Авторы

Тимченко Н.А. ¹ , Коваль Н.Н. ² , Крысина О.В. ² , Галимов Р.М. ¹ , Шмаков А.Н. ³

Организации

1	Физико-технический институт Национального исследовательского Томского политехнического университета, г. Томск, Россия
2	Институт сильноточной электроники СО РАН, г. Томск, Россия
3	Институт катализа СО РАН, г. Новосибирск, Россия

Представлены экспериментальные результаты по исследованию структуры многокомпонентных тонких (3-5 мкм) покрытий системы Ti-Al-N, осажденных вакуумно-дуговым методом с плазменным ассистированием при испарении композиционных катодов с вариацией основных параметров процесса (напряжение смещения, токи дуговых разрядов, давление рабочего газа, состав газовой смеси и др.). В качестве рабочего газа использовался азот или смесь аргона с азотом.

Тимченко Н.А. , Коваль Н.Н. , Крысина О.В. , Галимов Р.М. , Шмаков А.Н.
Структура нанокристаллических покрытий Ti-Al-N
Известия высших учебных заведений. Физика. 2013. Т.56. №11-3. С.39-42. РИНЦ

Поступила в редакцию:

30 сент. 2013 г.

РИНЦ:

21217990

БД	Цитирований
РИНЦ	1