Структура нанокристаллических покрытий Ti-Al-N | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Структура нанокристаллических покрытий Ti-Al-N Full article

Journal

Известия высших учебных заведений. Физика
ISSN: 0021-3411

Output data

Year: 2013, Volume: 56, Number: 11-3, Pages: 39-42 Pages count : 4

Tags

ТИТАН, НИТРИД ТИТАНА НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ, XAFS-СПЕКТРОСКОПИЯ С СИНХРОТРОННЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ

Authors

Тимченко Н.А. ¹ , Коваль Н.Н. ² , Крысина О.В. ² , Галимов Р.М. ¹ , Шмаков А.Н. ³

Affiliations

1	Физико-технический институт Национального исследовательского Томского политехнического университета, г. Томск, Россия
2	Институт сильноточной электроники СО РАН, г. Томск, Россия
3	Институт катализа СО РАН, г. Новосибирск, Россия

Представлены экспериментальные результаты по исследованию структуры многокомпонентных тонких (3-5 мкм) покрытий системы Ti-Al-N, осажденных вакуумно-дуговым методом с плазменным ассистированием при испарении композиционных катодов с вариацией основных параметров процесса (напряжение смещения, токи дуговых разрядов, давление рабочего газа, состав газовой смеси и др.). В качестве рабочего газа использовался азот или смесь аргона с азотом.

Тимченко Н.А. , Коваль Н.Н. , Крысина О.В. , Галимов Р.М. , Шмаков А.Н.
Структура нанокристаллических покрытий Ti-Al-N
Известия высших учебных заведений. Физика. 2013. Т.56. №11-3. С.39-42. РИНЦ

Submitted:

Sep 30, 2013

Elibrary:

21217990

DB	Citing
Elibrary	1