Реферат: Методом спектральной эллипсометрии исследованы оптические характеристики пленок HfO(2x)Nx и TiO(2x)Nx, полученных методом реактивного ионно-лучевого распыления. Химический состав пленок определен с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС). Содержание азота в пленках оксинитридов, определяемое соотношением N2/O2 в газовой смеси при синтезе, достигало 9 ат. % для TiO(2x)Nx и 6 ат. % для HfO(2x)Nx. Обнаружено, что дисперсионные зависимости n( ) и k( ) в пленках TiO(2x)Nx при увеличении содержания азота от 0 до 9 ат. % изменяются от характерных для диоксида титана до характерных для нитрида титана. Оптические параметры пленок HfO(2x)Nx слабо зависят от содержания азота в диапазоне 0-6 ат. %.

Библиографическая ссылка: Атучин В.В. , Кручинин В.Н. , Калинкин А.В. , Алиев В.Ш. , Рыхлицкий С.В. , Швец В.А. , Спесивцев Е.В.
Оптические свойства пленок HfO(2x)Nx и TiO(2x)Nx, полученных методом ионно-лучевого распыления
Оптика и спектроскопия. 2009. Т.106. №1. С.77-82. РИНЦ

Переводная: Atuchin V.V. , Kruchinin V.N. , Kalinkin A.V. , Aliev V.S. , Rykhlitskii S.V. , Shvets V.A. , Spesivtsev E.V.
Optical Properties of the HfO2 – xNx and TiO2 – xNx Films Prepared by Ion Beam Sputtering
Optics and Spectroscopy. 2009. V.106. N1. P.72-77. DOI: 10.1134/S0030400X09010093 WOS Scopus РИНЦ CAPlusCA OpenAlex

Даты:

Поступила в редакцию:	17 дек. 2007 г.
Принята к публикации:	29 авг. 2008 г.

Идентификаторы БД:

РИНЦ:

11663148

Цитирование в БД:

БД	Цитирований
РИНЦ	5