АЭС-ИСП анализ высокочистого кремния | Sciact - CRIS-система Института катализа

АЭС-ИСП анализ высокочистого кремния Научная публикация

Журнал

Заводская лаборатория. Диагностика материалов
ISSN: 1028-6861

Вых. Данные

Год: 2012, Том: 78, Номер: 4, Страницы: 9-13 Страниц : 5

Ключевые слова

высокочистый кремний, концентрирование примесей, пределы обнаружения примесей, многоэлементность

Авторы

Шаверина А.В. ¹ , Цыганкова А.Р. ² , Шелпакова И.Р. ² , Сапрыкин А.И. ²

Организации

1	Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.А. Николаева СО РАН
2	Новосибирский государственный университет

Информация о финансировании (1)

Президиум РАН

Описана АЭС-ИСП методика анализа высокочистого кремния, реализуемая на современном стандартном оборудовании и позволяющая определять в кремнии 44 примеси с пределами обнаружения n · 10-8 - n · 10-6 % масс. Методика сопоставлена с гостированной и опубликованными в литературе АЭС-ИСП методиками по количеству определяемых примесей и пределам их обнаружения

Шаверина А.В. , Цыганкова А.Р. , Шелпакова И.Р. , Сапрыкин А.И.
АЭС-ИСП анализ высокочистого кремния
Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012. Т.78. №4. С.9-13. РИНЦ

Shaverina A.V. , Tsygankova A.R. , Shelpakova I.R. , Saprykin A.I.
ICP-AES Analysis of High-Purity Silicon
Inorganic Materials. 2013. V.49. N14. P.1283-1287. DOI: 10.1134/S0020168513140082 WOS Scopus РИНЦ CAPlusCA OpenAlex

Поступила в редакцию:

1 мар. 2011 г.

РИНЦ:

17711026

Пока нет цитирований