АЭС-ИСП анализ высокочистого кремния | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

АЭС-ИСП анализ высокочистого кремния Full article

Journal

Заводская лаборатория. Диагностика материалов
ISSN: 1028-6861

Output data

Year: 2012, Volume: 78, Number: 4, Pages: 9-13 Pages count : 5

Tags

высокочистый кремний, концентрирование примесей, пределы обнаружения примесей, многоэлементность

Authors

Шаверина А.В. ¹ , Цыганкова А.Р. ² , Шелпакова И.Р. ² , Сапрыкин А.И. ²

Affiliations

1	Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.А. Николаева СО РАН
2	Новосибирский государственный университет

Funding (1)

Президиум РАН

Описана АЭС-ИСП методика анализа высокочистого кремния, реализуемая на современном стандартном оборудовании и позволяющая определять в кремнии 44 примеси с пределами обнаружения n · 10-8 - n · 10-6 % масс. Методика сопоставлена с гостированной и опубликованными в литературе АЭС-ИСП методиками по количеству определяемых примесей и пределам их обнаружения

Шаверина А.В. , Цыганкова А.Р. , Шелпакова И.Р. , Сапрыкин А.И.
АЭС-ИСП анализ высокочистого кремния
Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012. Т.78. №4. С.9-13. РИНЦ

Shaverina A.V. , Tsygankova A.R. , Shelpakova I.R. , Saprykin A.I.
ICP-AES Analysis of High-Purity Silicon
Inorganic Materials. 2013. V.49. N14. P.1283-1287. DOI: 10.1134/S0020168513140082 WOS Scopus РИНЦ ANCAN OpenAlex

Submitted:

Mar 1, 2011

Elibrary:

17711026

Пока нет цитирований