Разработка ИСП-АЭС методик анализа кремния, германия и их оксидов | Sciact - CRIS-система Института катализа

Разработка ИСП-АЭС методик анализа кремния, германия и их оксидов Научная публикация

Журнал

Заводская лаборатория. Диагностика материалов
ISSN: 1028-6861

Вых. Данные

Год: 2015, Том: 81, Номер: 6, Страницы: 10-15 Страниц : 6

Ключевые слова

кремний, германий, оксид кремния (IV), оксид германия (IV), определение примесей, атомно-эмиссионный спектральный анализ, индуктивно-связанная плазма, влияние матричного компонента, пределы обнаружения

Авторы

Хомиченко Н.Н. ^1,2 , Шаверина А.В. ^1,2 , Цыганкова А.Р. ^1,2 , Сапрыкин А.И. ^1,2

Организации

1	ФГБУН Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, г. Новосибирск
2	ФГАО УВО Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, г. Новосибирск, Россия

Разработаны методики количественного анализа кремния, германия и их диоксидов методом атомно-эмиссионной спектрометрии с возбуждением излучения в индуктивно-связанной плазме (ИСП-АЭС). Выбраны аналитические линии, свободные от спектральных наложений и позволяющие проводить определение 29 элементов-примесей в кремнии и его оксиде и 42 элементов в германии и его оксиде. Исследованы матричные помехи, вызванные присутствием основных компонентов (кремния и германия) в растворах анализируемых проб. Определены значения концентраций основ, при которых не наблюдается значимого влияния на результаты количественного химического анализа (КХА). Проведена оценка метрологических характеристик методик: пределы определения аналитов лежат в интервале от n · 10 -7 до n · 10 -5 % масс., относительное стандартное отклонение результатов анализа не превышает 20 %. Правильность результатов подтверждена методом «введено - найдено». Разработанные методики экспрессны, просты в исполнении и рассчитаны на определение широкого круга примесных элементов.

Хомиченко Н.Н. , Шаверина А.В. , Цыганкова А.Р. , Сапрыкин А.И.
Разработка ИСП-АЭС методик анализа кремния, германия и их оксидов
Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2015. Т.81. №6. С.10-15. RSCI РИНЦ

Khomichenko N.N. , Shaverina A.V. , Tsygankova A.R. , Saprykin A.I.
ICP-AES Techniques of Silicon, Germanium, and Their Oxides
Inorganic Materials. 2016. V.52. N14. P.1431-1438. DOI: 10.1134/S0020168516140077 WOS Scopus РИНЦ CAPlus OpenAlex

Поступила в редакцию:

24 мар. 2015 г.

Russian Science Citation Index (RSCI):	RSCI:23594597
РИНЦ:	23594597

Пока нет цитирований