Multibeam X-ray Lithography to Form Deep Regular Microstructures Научная публикация
| Журнал |
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques
ISSN: 1027-4510 , E-ISSN: 1819-7094 |
||||
|---|---|---|---|---|---|
| Вых. Данные | Год: 2016, Том: 10, Номер: 1, Страницы: 92-95 Страниц : 4 DOI: 10.1134/s1027451016010134 | ||||
| Ключевые слова | multibeam X-ray lithography; regular microstructures; synchrotron radiation; X-ray masks | ||||
| Авторы |
|
||||
| Организации |
|
Реферат:
A method for the fabrication of regular microstructures with a high aspect ratio (for example, X-ray gratings) by direct multibeam vector recording in layers of an SU-8 resist is presented. An X-ray beam with a wavelength from 0.4 to 1.7 Å is used for recording. The features of the method are described. The fabricated samples of regular microstructures of the SU-8 resist and gold-plated X-ray masks are presented as finished products.
Библиографическая ссылка:
Goldenberg B.G.
, Lemzyakov A.G.
, Zelinsky A.G.
, Nazmov V.P.
, Pindyurin V.F.
Multibeam X-ray Lithography to Form Deep Regular Microstructures
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2016. V.10. N1. P.92-95. DOI: 10.1134/s1027451016010134 WOS Scopus РИНЦ CAPlusCA OpenAlex
Multibeam X-ray Lithography to Form Deep Regular Microstructures
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2016. V.10. N1. P.92-95. DOI: 10.1134/s1027451016010134 WOS Scopus РИНЦ CAPlusCA OpenAlex
Оригинальная:
Гольденберг Б.Г.
, Лемзяков А.Г.
, Зелинский А.Г.
, Назьмов В.П.
, Пиндюрин В.Ф.
Многопучковая рентгенолитография для формирования глубоких регулярных микроструктур
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2016. №1. С.64–67. DOI: 10.7868/S0207352816010133 РИНЦ OpenAlex
Многопучковая рентгенолитография для формирования глубоких регулярных микроструктур
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2016. №1. С.64–67. DOI: 10.7868/S0207352816010133 РИНЦ OpenAlex
Даты:
| Поступила в редакцию: | 20 мар. 2015 г. |
| Опубликована в печати: | 1 янв. 2016 г. |
| Опубликована online: | 19 февр. 2016 г. |
Идентификаторы БД:
| Web of science: | WOS:000378495100014 |
| Scopus: | 2-s2.0-84958743345 |
| РИНЦ: | 26859338 |
| Chemical Abstracts: | 2016:281056 |
| Chemical Abstracts (print): | 175:197083 |
| OpenAlex: | W2379729307 |