Состав и оптические свойства аморфного плазмохимического оксинитрида кремния переменного состава a-SiOxNy : H | Sciact - CRIS-система Института катализа

Состав и оптические свойства аморфного плазмохимического оксинитрида кремния переменного состава a-SiOxNy : H Научная публикация

Журнал

Журнал технической физики
ISSN: 0044-4642

Вых. Данные

Год: 2023, Том: 93, Номер: 4, Страницы: 575-582 Страниц : 8 DOI: 10.21883/jtf.2023.04.55047.167-22

Ключевые слова

оксинитрид кремния, плазмохимическое осаждение, стехиометрический состав, нанокластеры кремния, silicon oxynitride, plasma-chemical deposition, stoichiometric composition, si nanoclusters

Авторы

Володин В.А. ^1,2 , Камаев Г.Н. ¹ , Гриценко В.А. ^1,3 , Черкова С.Г. ¹ , Просвирин И.П. ⁴

Организации

1	Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
2	Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
3	Новосибирский государственный технический университет, 630073 Новосибирск, Россия
4	Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия

Информация о финансировании (1)

Российский научный фонд

22-19-00369

Пленки a-SiOxNy : H различного состава были получены методом плазмохимического осаждения из газовой смеси 10% моносилана (разбавлен аргоном) и азота в присутствии остаточного кислорода в рабочих газовых смесях. Расход азота изменялся в диапазоне от 4 до 6 cm3/min, мощность генератора высокой частоты (13.56 MHz) изменялась в диапазоне 50-150 W. Электронная структура и оптические свойства пленок были исследованы с применением рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, колебательной спектроскопии, спектроскопии пропускания и отражения и спектральной эллипсометрии. Показано, что при уменьшении мощности генератора повышается содержание избыточного кремния в пленках и возникают нанокластеры аморфного кремния. С увеличением мощности генератора в пленках снижается концентрация кислорода, что позволяет управлять составом пленок a-SiOxNy : H не только изменяя поток азота, но и варьируя мощность генератора

Володин В.А. , Камаев Г.Н. , Гриценко В.А. , Черкова С.Г. , Просвирин И.П.
Состав и оптические свойства аморфного плазмохимического оксинитрида кремния переменного состава a-SiOxNy : H
Журнал технической физики. 2023. Т.93. №4. С.575-582. DOI: 10.21883/jtf.2023.04.55047.167-22 РИНЦ OpenAlex

Volodin V.A. , Kamaev G.N. , Gritsenko V.A. , Chepkova S.G. , Prosvirin I.P.
Composition and Optical Properties of Amorphous Plasma-Chemical Silicon Oxynitride of Variable Composition α-SiOxNy : H
Technical Physics. 2023. V.68. N4. P.538-545. DOI: 10.21883/tp.2023.04.55947.167-22 РИНЦ OpenAlex

Поступила в редакцию:	23 июн. 2022 г.
Принята к публикации:	2 февр. 2023 г.
Опубликована online:	21 мар. 2023 г.

РИНЦ:	53935268
OpenAlex:	W4328010590

БД	Цитирований
РИНЦ	1