Полиметилметакрилат с молекулярной массой 107 г/моль для рентгеновской литографии | Sciact - CRIS-система Института катализа

Полиметилметакрилат с молекулярной массой 107 г/моль для рентгеновской литографии Научная публикация

Журнал

Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
ISSN: 1028-0960 , E-ISSN: 0207-3528

Вых. Данные

Год: 2023, Номер: 6, Страницы: 27-31 Страниц : 5 DOI: 10.31857/S1028096023060110

Ключевые слова

полиметилметакрилат, ИК-спектроскопия, гельпроникающая хроматография, дифференциально-термический анализ, контраст, рентгеновское излучение, чувствительность, микроструктуры, рентгеновская литография

Авторы

Назьмов В.П. ^1,2 , Варанд А.В. ¹ , Михайленко М.А. ² , Гольденберг Б.Г. ^1,3 , Просанов И.Ю. ² , Герасимов К.Б. ²

Организации

1	Институт ядерной физики им Г.И. Будкера СО РАН 630090 Новосибирск, Россия
2	Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН 630090 Новосибирск, Россия
3	Центр коллективного пользования “СКИФ”, Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН 630559 Новосибирск, Россия

Представлены результаты исследования синдиотактического полиметилметакрилата с молекулярной массой 107 г/моль, синтезированного методом ионной полимеризации с радиационным инициированием. Изменение химической структуры полимерного материала анализировали методом ИК-спектроскопии, дифференциального термического анализа, гель-проникающей хроматографии. При термическом разложении исходного полимера процесс потери массы можно разделить на три этапа: низкотемпературный, среднетемпературный и высокотемпературный. Исчезает ярко выраженный тепловой эффект плавления полимера даже после воздействия минимальных доз ионизирующего излучения. Обнаружено сравнительно быстрое снижение молекулярной массы под действием рентгеновского излучения в диапазоне доз до 100 Дж/см3 и разброс размеров молекул. Полидисперсность при малых дозах приблизительно в 3.5 раза выше, чем при дозах порядка 10 кДж/см3. Достигнута скорость проявления изображения, примерно в пять раз большая, чем в случае полимера с молекулярной массой 106 г/моль в стандартных условиях. Контраст составил величину 3.4. С помощью синхротронного излучения рентгеновского диапазона на источнике ВЭПП-3 осуществлено микроструктурирование методом рентгеновской литографии. Получены микроструктуры высотой до 5 мкм и диаметром около 2 мкм.

Назьмов В.П. , Варанд А.В. , Михайленко М.А. , Гольденберг Б.Г. , Просанов И.Ю. , Герасимов К.Б.
Полиметилметакрилат с молекулярной массой 107 г/моль для рентгеновской литографии
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2023. №6. С.27-31. DOI: 10.31857/S1028096023060110 РИНЦ OpenAlex СКИФ ID

Nazmov V.P. , Varand A.V. , Mikhailenko M.A. , Goldenberg B.G. , Prosanov I.Y. , Gerasimov K.B.
Polymethyl Metacrylate with a Molecular Weight of 107 g/mol for X-ray Lithography
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2023. V.17. N3. P.652-655. DOI: 10.1134/s102745102303028x WOS Scopus РИНЦ CAPlusCA OpenAlex СКИФ ID

Поступила в редакцию:	16 окт. 2022 г.
Принята к публикации:	12 дек. 2022 г.

РИНЦ:	50766905
OpenAlex:	W4394955855
СКИФ ID:	2840

Пока нет цитирований