Структура Ir и Ir-Al2O3 покрытий, полученных методом химического осаждения из паровой фазы в присутствии кислорода | Sciact - CRIS-система Института катализа

Структура Ir и Ir-Al2O3 покрытий, полученных методом химического осаждения из паровой фазы в присутствии кислорода Научная публикация

Журнал

Журнал структурной химии
ISSN: 0136-7463

Вых. Данные

Год: 2010, Том: 51, Номер: 1, Страницы: 88-97 Страниц : 10

Ключевые слова

Ir и Ir-Al2O3 композиционные покрытия, химическое осаждение из паровой фазы, иридий(III), алюминий (III), трис-ацетилацетонаты

Авторы

Гельфонд Н.В. ¹ , Морозова Н.Б. ¹ , Игуменов И.К. ¹ , Филатов Е.С. ¹ , Громилов С.А. ¹ , Шубин Ю.В. ¹ , Квон Р.И. ² , Данилович В.С. ¹

Организации

1	Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
2	Учреждение Российской академии наук Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН

Информация о финансировании (2)

1	Сибирское отделение Российской академии наук	97
2	EADS Innovation Works (Germany)

Методом химического осаждения из паровой фазы получены Ir и Ir-Al2O3 покрытия толщиной до 40 мкм на стальных подложках, предварительно покрытых слоем Al2O3. В качестве исходных соединений были использованы трис-ацетилацетонаты иридия(III) и алюминия(III). Процессы осаждения проводили при атмосферном давлении в присутствии кислорода. Полученные покрытия изучены методами рентгеновской дифракции, рентгенофотоэлектронной спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии. Установлены зависимости структуры и состава покрытий от условий их получения. Повышение температуры осаждения приводит к формированию Ir покрытий с рыхлой, несплошной структурой, увеличению размеров металлических кристаллитов и росту содержания кислорода в их составе. Увеличение концентрации паров прекурсора в зоне осаждения при постоянной температуре осаждения приводит к образованию Ir покрытий, состоящих из слоев с различной структурой (компактной, столбчатой и зернистой). Наиболее совершенную, компактную, сплошную структуру имеют смешанные Ir-Al2O3 покрытия, состоящие из кристаллитов металлического Ir и аморфного Al2O3, в которых проявляется выраженная текстура иридия в направлении [111]. Введение оксидной фазы в состав покрытия приводит к уменьшению размеров кристаллитов Ir вдвое.

Гельфонд Н.В. , Морозова Н.Б. , Игуменов И.К. , Филатов Е.С. , Громилов С.А. , Шубин Ю.В. , Квон Р.И. , Данилович В.С.
Структура Ir и Ir-Al2O3 покрытий, полученных методом химического осаждения из паровой фазы в присутствии кислорода
Журнал структурной химии. 2010. Т.51. №1. С.88-97. RSCI РИНЦ

Gelʹfond N.V. , Morozova N.B. , Igumenov I.K. , Filatov E.S. , Gromilov S.A. , Shubin Y.V. , Kvon R.I. , Danilovich V.S.
Structure of Ir and Ir-Al2o3 Coatings Obtained by Chemical Vapor Deposition in the Presence of Oxygen
Journal of Structural Chemistry. 2010. V.51. N1. P.82-91. DOI: 10.1007/s10947-010-0012-4 WOS Scopus РИНЦ CAPlusCA OpenAlex

Поступила в редакцию:	9 нояб. 2009 г.
Опубликована в печати:	1 янв. 2010 г.

Russian Science Citation Index (RSCI):	RSCI:13528205
РИНЦ:	13528205

Пока нет цитирований