Sciact
  • EN
  • RU

Структура Ir и Ir-Al2O3 покрытий, полученных методом химического осаждения из паровой фазы в присутствии кислорода Full article

Journal Журнал структурной химии
ISSN: 0136-7463
Output data Year: 2010, Volume: 51, Number: 1, Pages: 88-97 Pages count : 10
Tags Ir и Ir-Al2O3 композиционные покрытия, химическое осаждение из паровой фазы, иридий(III), алюминий (III), трис-ацетилацетонаты
Authors Гельфонд Н.В. 1 , Морозова Н.Б. 1 , Игуменов И.К. 1 , Филатов Е.С. 1 , Громилов С.А. 1 , Шубин Ю.В. 1 , Квон Р.И. 2 , Данилович В.С. 1
Affiliations
1 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
2 Учреждение Российской академии наук Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН

Funding (2)

1 Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences 97
2 EADS Innovation Works (Germany)

Abstract: Методом химического осаждения из паровой фазы получены Ir и Ir-Al2O3 покрытия толщиной до 40 мкм на стальных подложках, предварительно покрытых слоем Al2O3. В качестве исходных соединений были использованы трис-ацетилацетонаты иридия(III) и алюминия(III). Процессы осаждения проводили при атмосферном давлении в присутствии кислорода. Полученные покрытия изучены методами рентгеновской дифракции, рентгенофотоэлектронной спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии. Установлены зависимости структуры и состава покрытий от условий их получения. Повышение температуры осаждения приводит к формированию Ir покрытий с рыхлой, несплошной структурой, увеличению размеров металлических кристаллитов и росту содержания кислорода в их составе. Увеличение концентрации паров прекурсора в зоне осаждения при постоянной температуре осаждения приводит к образованию Ir покрытий, состоящих из слоев с различной структурой (компактной, столбчатой и зернистой). Наиболее совершенную, компактную, сплошную структуру имеют смешанные Ir-Al2O3 покрытия, состоящие из кристаллитов металлического Ir и аморфного Al2O3, в которых проявляется выраженная текстура иридия в направлении [111]. Введение оксидной фазы в состав покрытия приводит к уменьшению размеров кристаллитов Ir вдвое.
Cite: Гельфонд Н.В. , Морозова Н.Б. , Игуменов И.К. , Филатов Е.С. , Громилов С.А. , Шубин Ю.В. , Квон Р.И. , Данилович В.С.
Структура Ir и Ir-Al2O3 покрытий, полученных методом химического осаждения из паровой фазы в присутствии кислорода
Журнал структурной химии. 2010. Т.51. №1. С.88-97. RSCI РИНЦ
Translated: Gelʹfond N.V. , Morozova N.B. , Igumenov I.K. , Filatov E.S. , Gromilov S.A. , Shubin Y.V. , Kvon R.I. , Danilovich V.S.
Structure of Ir and Ir-Al2o3 Coatings Obtained by Chemical Vapor Deposition in the Presence of Oxygen
Journal of Structural Chemistry. 2010. V.51. N1. P.82-91. DOI: 10.1007/s10947-010-0012-4 WOS Scopus РИНЦ ANCAN OpenAlex
Dates:
Submitted: Nov 9, 2009
Published print: Jan 1, 2010
Identifiers:
RSCI: RSCI:13528205
Elibrary: 13528205
Citing: Пока нет цитирований