Пленки карбонитрида кремния - перспективный функциональный материал, синтезированный из новых источников Научная публикация
Журнал |
Химия в интересах устойчивого развития
ISSN: 0869-8538 |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2001, Том: 9, Номер: 7, Страницы: 857-864 Страниц : 8 | ||||||
Авторы |
|
||||||
Организации |
|
Реферат:
Пленки карбонитрида кремния синтезированы методом газофазного химического осаждения в схеме с удаленной плазмой. В качестве исходных реагентов использованы силильные производные 1,1-диметилгидразина: диметил(2,2-диметилгидразино)силан и диметил-бис-(2,2-диметилгидразино)силан. В молекулах этих мономеров содержатся связи Si-N, Si-С и C-N, необходимые для формирования карбонитрида кремния. По данным РФЭС и ИК-спектроскопии установлено, что синтезированные пленки представляют собой различные типы соединений-композитов, в которых атом кремния связан с атомами азота и углерода, либо атом азота образует химические связи с кремнием и углеродом. Пленки, синтезированные при Т < 673 K, частично гидрированы. Электронно-микроскопические исследования показали, что в аморфной матрице пленок образуются нанокристаллы размером 50-200 нм. Методом дифракции синхротронного излучения обнаружено, что возникновение кристаллов, а также их кристаллические формы не зависят от температуры подложки. Это дает основание полагать, что образование нанокристаллов может происходить в газовой фазе, либо инициироваться напряжениями в пленке, увеличивающимися по мере роста ее толщины. Пленки обладают высокой термической стабильностью вплоть до температуры 1273 K.
Библиографическая ссылка:
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Яковкина Л.В.
, Сысоева Н.П.
, Асанов И.П.
, Каичев В.В.
, Бухтияров В.И.
, Шмаков А.Н.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Пленки карбонитрида кремния - перспективный функциональный материал, синтезированный из новых источников
Химия в интересах устойчивого развития. 2001. Т.9. №7. С.857-864. РИНЦ
Пленки карбонитрида кремния - перспективный функциональный материал, синтезированный из новых источников
Химия в интересах устойчивого развития. 2001. Т.9. №7. С.857-864. РИНЦ
Переводная:
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Yakovkina L.V.
, Sysoeva N.P.
, Asanov I.P.
, Kaichev V.V.
, Bukhtiyarov V.I.
, Shmakov A.N.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Silicon Carbonitride Films as a Promising Material Synthesized from New Sources
Chemistry for Sustainable Development. 2001. V.9. N7. P.23-29. РИНЦ
Silicon Carbonitride Films as a Promising Material Synthesized from New Sources
Chemistry for Sustainable Development. 2001. V.9. N7. P.23-29. РИНЦ
Идентификаторы БД:
РИНЦ | 21045661 |
Цитирование в БД:
БД | Цитирований |
---|---|
РИНЦ | 6 |